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MEMS\NEMS谐振器技术(精)
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：张文明//胡开明|责编:陈婕//纪四稳出版社：科学
本书主要介绍微/纳机电系统（MEMS/NEMS）谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要内容包括： MEMS/NEMS技术基础和 MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与... 作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式 MEMS/NEMS谐振器
人民币：RMB 298.00 元售价：NT$ 1192.00 元

硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元出版社：电子工业
丛书项：集成电路系列丛书
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS 芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成
人民币：RMB 138.00 元售价：NT$ 552.00 元

一砂一世界(一书读懂MEMS产业的现状与未来)
所属分类：经济>>财经管理>>工业经济作者：编者:冯锦锋//马进出版社：机械工业
本书较为全面地介绍了MEMS技术、产品、产业及应用，阐述了MEMS基本情况和发展趋势。本书共6章，其中第1、2章从MEMS基础知识入手，分析了其基本概念、发展历史、分类和原理技术等，阐述了MEMS作为前沿技术的重要性和独特性；第3、4章重点对MEMS应用场景和全球视角下的产业布局进行概括
人民币：RMB 59.00 元售价：NT$ 236.00 元

MEMS法珀腔光学声传感器/工业信息化技术丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>自动化技术作者：郑永秋//陈佳敏//武丽云|责编:刘志红出版社：电子工业
丛书项：工业信息化技术丛书
MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对 MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。本书在注重机理分析的同时，将理论与实践
人民币：RMB 98.00 元售价：NT$ 392.00 元

高温SiC MEMS传感器的热电特性
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>电工技术作者：(澳)丁东安//阮南中//陶宗越|责编:周涵//田轶静|译者:王兴华//刘文宝//刘红卫//李兴冀出版社：科学
本书主要介绍了碳化硅（SiC）传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC 的诸多重要特征以及 SiCMEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC 热电传感器的应用前景。本书可作为高等院校微电子技术专业本科生及相关专业研究生的参考书，也可作为相关领域工程技术人员的参考资料。
人民币：RMB 88.00 元售价：NT$ 352.00 元

微机电系统基础(原书第2版)/国外电子电气经典教材系列
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>电工技术作者：(美)刘昶|译者:黄庆安出版社：机械工业
丛书项：国外电子电气经典教材系列
美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3 章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了...的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些
人民币：RMB 69.00 元售价：NT$ 276.00 元

新型微纳传感器技术(西安交通大学研究生十四五规划精品系列教材)(精)
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>自动化技术作者：赵玉龙//蒋庄德|责编:王烨//陈喆出版社：化学工业
传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。... 业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考。
人民币：RMB 128.00 元售价：NT$ 512.00 元

三维芯片集成与封装技术/微电子与集成电路先进技术丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：(美)刘汉诚|责编:江婧婧//翟天睿|译者:杨兵出版社：机械工业
丛书项：微电子与集成电路先进技术丛书
本书系统地讨论了用于电子、光电子和MEMS器件的2.5D、3D，以及3D IC集成和封装技术...技术，以及存储器、LED、MEMS、CIS 3D IC集成等关键技术问题，最后讨论3D IC封装技术。本书适合从事电子、光电子、MEMS等器件3D集成的工程师、科研人员和技术
人民币：RMB 189.00 元售价：NT$ 756.00 元

三维电子封装的硅通孔技术/电子封装技术丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：(美)刘汉诚|译者:秦飞//曹立强出版社：化学工业
丛书项：电子封装技术丛书
刘汉诚编写的《三维电子封装的硅通孔技术》系统讨论了用于电子、光电子和微机电系统（MEMS）器件的三维集成硅通孔（TSV）技术的最新进展和可能的演变趋势，详尽讨论了三维集成关键技术中存在的主要...三维电子封装的硅通孔技术》适合从事电子、光电子、MEMS等器件三维集成的工程师、科研人员和技术
人民币：RMB 148.00 元售价：NT$ 592.00 元

小型无人飞行器卫星\微惯性组合高精度导航方法/国防科技大学建校70周年系列著作
所属分类：航天航空>>航天航空>>航空、航天作者：王鼎杰//李青松//吴杰|责编:欧珊出版社：国防科大
丛书项：国防科技大学建校70周年系列著作
前提下，利用神经网络技术提升MEMS惯性导航精度；第6章介绍卫星辅助MEMS惯性导航系统空中动基座初始对准方法，提出了一种基于双历元 GNSS定速辅助MEMS惯导空中动态姿态确定方法和大
人民币：RMB 138.00 元售价：NT$ 552.00 元

元宇宙(概念研究与体系构想)
所属分类：经济>>财经管理>>工业经济作者：编者:惠怀海|责编:崔艳阳//刘翾出版社：国防工业
元宇宙作为可能的下一代互联网正在蓬勃发展。 MEMS、IoT、5G、人工智能、数字孪生、云、边缘计算等技术集群的飞速发展，能够颠覆一些传统产业，升级变革一些产业，并孵化新的应用，催生新的业态，这都推动了元宇宙时代的到来。本书描述了元宇宙的源起，研究了元宇宙的基本概念和体系化构想
人民币：RMB 128.00 元售价：NT$ 512.00 元

微电子技术专业英语(微电子专业规划教材)
所属分类：语言.文字>>语言文字>>英语教学作者：编者:王波//谈向萍|责编:廉静出版社：化学工业
本书涉及半导体器件、半导体工艺、集成电路、微型机电系统（MEMS）等微电子技术的基础知识，旨在逐步提高学生的阅读、理解和翻译微电子技术专业书刊资料的能力，为学生今后能够以英语为工具，获取和交流专业技术信息打下较好的基础。本书注重选用不同类型的各种资料，有教材、科普
人民币：RMB 38.00 元售价：NT$ 152.00 元

半导体集成电路制造手册(微电子学第2版)/经典译丛
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：编者:(美)耿怀渝|责编:冯小贝|译者:(美)耿怀渝出版社：电子工业
丛书项：经典译丛
本书是一本综合性很强的半导体集成电路制造方面的参考手册，由70多位国际专家撰写，并在其前一版的基础上进行了全面的修订与更新。本书内容涵盖集成电路芯片、MEMS、传感器和其他电子器件的设计与制造过程，相关技术的基础知识和实际应用，以及对生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面的
人民币：RMB 268.00 元售价：NT$ 1072.00 元

微系统(精)
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：编者:贾晨阳//王开源|责编:张丹丹出版社：中国宇航
微系统是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素，采用系统设计的思想和方法，将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元，以微纳制造及工艺为基础的系统级封装集成在一起的具有多种功能的微装置。当前，微系统技术正在向从平面集成到三维集成、从微机电/微光电集成到异质
人民币：RMB 48.00 元售价：NT$ 192.00 元

精密与特种加工技术(第3版河南省十四五普通高等教育规划教材)
所属分类：工业技术>>冶金.金属学>>金属学作者：编者:明平美//马文锁//何文斌|责编:郭穗娟出版社：电子工业
作用等能量作用的特种加工及其复/组合加工、 3D打印、微纳加工与MEMS 等内容。除了第1章，其他
人民币：RMB 79.80 元售价：NT$ 319.20 元

智能传感器系统(新兴技术及其应用)/智能传感技术丛书
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>自动化技术作者：(荷兰)杰拉德·梅杰//米切尔·珀提斯//科菲·马金瓦|译者:靖向萌//明安杰//刘丰满//庄越宸//陈海亮等出版社：机械工业
丛书项：智能传感技术丛书
本书适合作为微机电系统（MEMS）相关专业高年级本科生和研究生的教材，以及传感器相关专业人员
人民币：RMB 79.00 元售价：NT$ 316.00 元

异构集成技术/半导体与集成电路关键技术丛书
所属分类：电子电脑>>计算机技术>>计算机网络作者：(美)刘汉诚|责编:吕潇//杨晓花|译者:吴向东//雷剑//冯慧出版社：机械工业
丛书项：半导体与集成电路关键技术丛书
本书主要内容涉及异构集成技术的基本构成、技术体系、工艺细节及其应用，涵盖有机基板上的异构集成、硅基板（TSV转接板、桥）上的异构集成、扇出型晶圆级/板级封装、扇出型 RDL基板的异构集成、PoP 异构集成、内存堆叠的异构集成、芯片到芯片堆叠的异构集成、CIS、LED、MEMS 和
人民币：RMB 168.00 元售价：NT$ 672.00 元

传热学基础
所属分类：工业技术>>动力工程原子能>>动力工程作者：编者:郭宝山//孙靖雅|责编:多海鹏出版社：北京理工大学
本教材是北京理工大学“十四五”规划教材，以导热、对流换热、辐射换热等内容为核心，引入工程实例，以及前沿科研热点，研究热量传递的基本规律，可广泛应用于能源动力、建筑环境、化工、机械加工与制造、新能源、微电子、核能、航空航天、微机电系统（MEMS ）、新材料、纳米技术、军事科学与
人民币：RMB 45.00 元售价：NT$ 180.00 元

电子产品制造工艺多场多尺度建模分析(英文版)
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯作者：李辉//申胜男|责编:朱雨萌出版社：电子工业
工艺中蚀刻腔几何形貌演化过程分析，FPCB多蚀刻腔蚀刻过程分析。本书针对MEMS 和FPCB
人民币：RMB 98.00 元售价：NT$ 392.00 元

变压器局部放电内置式声电联合检测
所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>电工技术作者：编者:司文荣|责编:陈丽出版社：中国电力
技术，基于MEMS敏感结构膜片的局部放电EFPI超声波传感耦合技术，微米级敏感膜片的局部放电
人民币：RMB 88.00 元售价：NT$ 352.00 元

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