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新型微納感測器技術(西安交通大學研究生十四五規劃精品系列教材)(精)

  • 作者：趙玉龍//蔣庄德|責編:王燁//陳?
  • 出版社：化學工業
  • ISBN：9787122423467
  • 出版日期：2022/12/01
  • 裝幀：精裝
  • 頁數：244
人民幣：RMB 128 元      售價：元
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內容大鋼
    本書圍繞微納感測與測試技術的知識架構，闡述微納感測器的基本原理、優勢特點與應用。本書主要介紹單晶硅壓阻原理、加速度感測器、壓力感測器、諧振感測器、機床刀具測力和振動感測器、薄膜測力感測器、爆轟爆速感測器、MEMS電熱執行器、氣體感測器等典型微納感測器的設計與製造方法。
    本書可供高等院校感測器技術、微機電系統、測控技術與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀錶等專業的師生作為教材使用，也可供從事感測器、MEMS、儀器儀錶等相關專業的技術人員學習參考。
作者介紹
趙玉龍//蔣庄德|責編:王燁//陳?
目錄
第1章  感測器的基本概念
  1.1  感測器的定義
  1.2  感測器的組成
  1.3  感測器的分類
  1.4  感測器的地位與作用
  1.5  感測器的發展動向
第2章  感測器的特性
  2.1  感測器的靜態特性
    2.1.1  測量範圍、量程和滿量程輸出
    2.1.2  分辨力、閾值和靈敏度
    2.1.3  遲滯
    2.1.4  重複性
    2.1.5  線性度
    2.1.6  零漂與溫漂
    2.1.7  總精度
  2.2  感測器的動態特性
    2.2.1  感測器動態響應的基本特點
    2.2.2  傳遞函數與頻響特性
    2.2.3  一階系統的動態響應
    2.2.4  二階系統的動態響應
    2.2.5  高階系統的動態響應
    2.2.6  感測器動態響應的指標
    2.2.7  實驗確定傳遞函數的方法
第3章  MEMS壓阻式感測器
  3.1  概述
  3.2  壓阻效應
    3.2.1  壓阻效應的定義與特點
    3.2.2  晶面與晶向
    3.2.3  壓阻係數
  3.3  壓阻式壓力感測器
    3.3.1  平膜結構的力敏電阻電橋設計
    3.3.2  梁-島膜結構的力敏電阻電橋設計
  3.4  MEMS壓阻式微加速度計
    3.4.1  硅微加速度計概述
    3.4.2  MEMS壓阻式加速度計測量原理
    3.4.3  複合多梁MEMS壓阻式加速度計
    3.4.4  孔縫結構MEMS壓阻式加速度計
    3.4.5  高g值MEMS加速度計
  參考文獻
第4章  高溫壓力感測器
  4.1  耐高溫壓力感測器的應用需求和主要技術方法
    4.1.1  耐高溫壓力感測器的應用需求
    4.1.2  耐高溫壓力感測器主要技術方法
  4.2  SOI高溫壓力感測器
    4.2.1  SOI壓阻感測器的耐高溫工作原理
    4.2.2  合理摻雜濃度的設計
    4.2.3  SOI耐高溫敏感元件的製作工藝
  4.3  耐高溫壓力感測器的典型封裝形式
    4.3.1  絕壓與表壓的晶元級封裝
    4.3.2  齊平膜高頻響結構——倒杯式和C型杯式

    4.3.3  高可靠性充油封裝
    4.3.4  微型化無引線封裝
  4.4  SiC耐高溫壓力感測器敏感元件研製
    4.4.1  SiC材料特性
    4.4.24  H-SiC高溫壓力感測器晶元設計
    4.4.34  H-SiC高溫壓力感測器晶元製備
  參考文獻
第5章  MEMS振梁式諧振感測器
  5.1  諧振式感測器概述
    5.1.1  概述
    5.1.2  諧振現象與感測器
    5.1.3  特徵和優勢
  5.2  諧振式感測器的敏感機理及信號檢測方式
    5.2.1  諧振敏感元件
    5.2.2  敏感機理
    5.2.3  信號檢測方式
  5.3  典型的振梁式諧振加速度感測器結構及其工作原理
    5.3.1  硅振梁式諧振加速度感測器
    5.3.2  石英振梁式諧振加速度感測器
  5.4  典型的振梁式諧振壓力感測器結構及其工作原理
    5.4.1  硅振梁式諧振壓力感測器
    5.4.2  石英振梁式諧振壓力感測器
  參考文獻
第6章  MEMS陀螺技術
  6.1  微機械陀螺的原理、分類與性能
    6.1.1  科里奧利效應
    6.1.2  微機械陀螺的分類
    6.1.3  微機械陀螺的性能指標
  6.2  振梁式硅MEMS陀螺分析
    6.2.1  音叉式硅微機械陀螺
    6.2.2  振動輪式硅微機械陀螺
  6.3  石英音叉微機械陀螺
    6.3.1  石英音叉陀螺的工作原理
    6.3.2  驅動與檢測原理
    6.3.3  驅動穩幅穩頻振動控制技術
    6.3.4  角速度（電荷）檢測技術
    6.3.5  幾種典型的石英音叉陀螺
  參考文獻
第7章  智能加工切削力感測器
  7.1  切削力概述
    7.1.1  切削力的來源
    7.1.2  切削力測量的重要性
  7.2  切削力感測器的研究與發展
    7.2.1  切削力感測器研究早期探索階段
    7.2.2  切削力感測器快速發展階段
    7.2.3  切削力感測器商業化階段
    7.2.4  智能刀具切削力感測器
  7.3  集成化三維車削力感測器設計製造與測試
    7.3.1  感測器設計原理與方法
    7.3.2  感測器製造與封裝技術

    7.3.3  感測器性能測試與分析
  參考文獻
第8章  基於非晶碳薄膜壓阻效應的新型壓力感測器
  8.1  非晶碳膜壓阻材料基礎
    8.1.1  非晶碳膜材料表徵
    8.1.2  非晶碳膜製備工藝研究
    8.1.3  非晶碳膜性能研究
  8.2  非晶碳膜的MEMS壓阻式微壓力感測器設計及加工
    8.2.1  非晶碳膜微壓力感測器設計
    8.2.2  感測器晶元的封裝方案設計
  8.3  基於非晶碳膜的MEMS壓阻式微壓力感測器性能測試
    8.3.1  靜態性能測試
    8.3.2  時間/溫度漂移測試
  參考文獻
第9章  MEMS微爆轟測試感測器
  9.1  爆壓測試方法
    9.1.1  動量守恆法
    9.1.2  阻抗匹配法
  9.2  MEMS微爆轟壓力感測器
    9.2.1  爆壓測試方法分析
    9.2.2  MEMS微爆轟壓力感測器設計
    9.2.3  感測器動態標定
    9.2.4  微爆轟實驗測試
  9.3  爆速測試方法
    9.3.1  離散法
    9.3.2  連續法
  9.4  MEMS微爆轟速度感測器
    9.4.1  爆速測試方法分析
    9.4.2  MEMS微爆轟速度感測器設計
    9.4.3  MEMS微爆轟速度感測器實驗測試
    9.4.4  爆速測試數據處理
  參考文獻
第10章  大輸出位移電熱微執行器
  10.1  微執行器概述
    10.1.1  微執行器基本概念
    10.1.2  微執行器國內外研究現狀
  10.2  大輸出位移電熱微執行器驅動機理與結構設計
    10.2.1  電熱微執行器類型
    10.2.2  電熱微執行器驅動原理
    10.2.3  位移放大機構設計
  10.3  大輸出位移電熱微執行器的應用
    10.3.1  基於三角放大機構的電熱執行器
    10.3.2  基於柔性杠桿放大機構的電熱執行器
    10.3.3  基於微彈簧放大機構的電熱執行器
  參考文獻
第11章  超高溫感測技術
  11.1  引言
  11.2  薄膜熱電偶測溫技術
    11.2.1  金屬型薄膜熱電偶測溫技術
    11.2.2  氧化物型薄膜熱電偶測溫技術

    11.2.3  大曲率渦輪葉片薄膜溫度感測研究
  參考文獻

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