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MEMS法珀腔光學聲感測器/工業信息化技術叢書

作者：鄭永秋//陳佳敏//武麗雲|責編:劉志紅
出版社：電子工業
ISBN：9787121466953

出版日期：2023/11/01
裝幀：平裝
頁數：211

人民幣：RMB 98 元售價：元

內容大鋼

MEMS法珀腔光學聲感測器是新一代工業及信息技術發展的核心聲感測器件。本書系統地論述了MEMS法珀腔光學聲感測器的感測機理、法珀腔聲敏感結構的優化設計及製備、調相譜檢測的聲信號解調技術等，還對MEMS法珀腔光學聲感測器進行了測試與分析。本書在注重機理分析的同時，將理論與實踐相結合，具有較強的系統性、理論性和實用性，對從事MEMS光學聲感測技術研究、設計、製造和應用的科技人員有一定的參考價值，也可作為相關專業本科生和研究生的教學參考書。

作者介紹

鄭永秋//陳佳敏//武麗雲|責編:劉志紅

第1章  概述
  1.1  引言
  1.2  光學聲感測器的發展現狀
    1.2.1  間接耦合型光學聲感測器
    1.2.2  直接耦合型光學聲感測器
  1.3  光學聲感測器的MEMS製備工藝
    1.3.1  微結構光纖光柵的MEMS製備工藝
    1.3.2  光纖干涉儀的MEMS製備工藝
    1.3.3  微諧振腔的MEMS製備工藝
  1.4  光學聲感測器的發展趨勢
第2章  MEMS法珀腔光學聲感測機理
  2.1  聲信號傳播基本特性
    2.1.1  聲波的物理特性
    2.1.2  聲波探測的重要評價指標
  2.2  MEMS法珀腔聲感測機理
    2.2.1  聲壓致空氣折射率改變理論分析
    2.2.2  法珀腔原理和特徵參數
    2.2.3  聲-光多物理場耦合聲敏感機理
  2.3  MEMS法珀腔聲敏感響應特性
    2.3.1  寬頻帶響應特性
    2.3.2  高靈敏度響應特性
    2.3.3  大動態範圍響應特性
第3章  MEMS法珀腔聲感測結構設計方法
  3.1  全剛性法珀腔結構設計
  3.2  穩定法珀腔聚焦特性
  3.3  光聲共焦法珀腔感測結構設計
第4章  基於光膠工藝的法珀腔製備方法
  4.1  光膠工藝
  4.2  基於光膠工藝的法珀腔製備
  4.3  法珀腔聲感測器的耦合封裝
    4.3.1  光纖准直器的耦合特性
    4.3.2  光纖准直器與法珀腔的耦合對準
    4.3.3  法珀腔聲感測器的封裝
第5章  基於直接鍵合工藝的法珀腔製備方法
  5.1  室溫自發預鍵合
    5.1.1  預鍵合模型
    5.1.2  預鍵合關鍵工藝
  5.2  直接鍵合材料特性分析
  5.3  直接鍵合法珀腔製備
    5.3.1  「三明治」式敞口法珀腔結構設計
    5.3.2  石英玻璃MEMS直接鍵合工藝
    5.3.3  石英玻璃磁控濺射及划片工藝
    5.3.4  鍵合界面表徵及鍵合質量測試
    5.3.5  尾纖式全固態微型法珀腔封裝工藝
  5.4  法珀腔光學特性測試
    5.4.1  空間光學耦合測試
    5.4.2  光纖耦合測試
第6章  光纖聲感測聲信號解調方法
  6.1  光纖聲感測器常用的信號解調技術
    6.1.1  強度解調技術

    6.1.2  相位解調技術
  6.2  調相譜檢測技術
    6.2.1  相位調製原理
    6.2.2  同步解調誤差信號分析
  6.3  諧振頻率追蹤與鎖定技術
第7章  法珀腔聲感測性能測試系統和方法
  7.1  測試系統搭建及測試方法
  7.2  基於調相譜技術的法珀腔聲感測測試
  7.3  基於不同品質因數的法珀腔聲感測測試
  7.4  法珀腔聲感測器實際工程應用測試
    7.4.1  方向性測試
    7.4.2  振動測試
    7.4.3  高溫測試
    7.4.4  高聲壓測試
參考文獻

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