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微機電系統基礎(原書第2版)/國外電子電氣經典教材系列

作者：(美)劉昶|譯者:黃慶安
出版社：機械工業
ISBN：9787111406570

出版日期：2013/02/01
裝幀：平裝
頁數：397

人民幣：RMB 69 元售價：元

內容大鋼

Chang Liu所著的《微機電系統基礎（原書第2版）》第1版被翻譯成3種文字出版發行，並已被美國一些著名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。第1、2章概括了基本感測原理和製造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4?9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的感測器與執行器；第10?11章詳細介紹了微製造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術，而器件製造方法則插入到實例研究中；第12章討論了工藝技術的綜合應用；第13章介紹了與聚合物有關的MEMS製造技術；第14章討論了微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及製造方法；第15章選擇了MEMS商業化產品實例進行介紹。
《微機電系統基礎（原書第2版）》循序漸進，體系嚴密，適合作為微機電系統（MEMS）、感測器、微電子、機械工程、儀器儀錶等專業的高年級本科生和研究生教材，也適合於這些領域的科技人員參考。

作者介紹

(美)劉昶|譯者:黃慶安
Chang Liu(劉昶)于1995年在美國加州理工學院獲博士學位。1996年在美國伊利諾斯大學微電子實驗室作博士后，1997年成為伊利諾斯大學電氣與電腦工程系和機械與工業工程系聯合任命的助理教授，2003年獲得終身職位並任副教授。 Chang Liu在微機電系統MEMS領域研究已經14年，發表120余篇國際期刊論文及會議論文，他的研究工作被廣泛引用。他為本科生和研究生開設了多門課程，包括MEMS、固體電子學、機電學和傳熱學。他因利用MEMS技術開發人工毛髮細胞方面的工作，于1998年獲得美國國家科學基金會的CAREER獎。他目前擔任國際期刊JMEMS的編委和IEEESensors Joumal的副主編以及IEEE MEMS，IEEE Sensors等多種國際會議程序委員會委員。

第2版譯者序
第1版譯者序
教師備忘錄
前言
第1章緒論
  1.0 預覽
  1.1 MEMS發展史
    1.1.1 從誕生到1990年
    1.1.2 從1990年到2001年
    1.1.3 從2002年到現在
    1.1.4 未來發展趨勢
  1.2 MEMS的本質特徵
    1.2.1 小型化
    1.2.2 微電子集成
    1.2.3 高精度的並行製造
  1.3 器件：感測器和執行器
    1.3.1 能量域和換能器
    1.3.2 感測器考慮
    1.3.3 感測器雜訊及設計複雜性
    1.3.4 執行器考慮
  1.4 總結
  習題
  參考文獻
第2章微製造導論
第3章電學與機械學基本概念
第4章靜電敏感與執行原理
第5章熱敏感與執行原理
第6章壓阻感測器
第7章壓電敏感與執行原理
第8章磁執行原理
第9章敏感與執行原理總結
第10章體微機械加工與硅各向異性刻蝕
第11章表面微機械加工
第12章工藝組合
第13章聚合物MEMS
第14章微流控應用
第15章 MEMS典型產品實例
附錄A 典型MEMS材料特性
附錄B 梁、懸臂樑、板的常用力學公式
附錄C 處理二階動態系統的基本方法
附錄D 常用材料的製備方法、刻蝕劑和能夠承受的最高溫度
附錄E 常用材料去除工藝
附錄F 材料和工藝之間的兼容性總結
附錄G 商用慣性感測器比較部分習題答案

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