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半導體廠務項目工程管理(附項目工作評價手冊)/先進半導體產教融合叢書

  • 作者：編者:沈曉宇//王棟//戴麗華|責編:任鑫//朱林
  • 出版社：機械工業
  • ISBN：9787111796831
  • 出版日期：2026/01/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：223
人民幣：RMB 78 元      售價：元
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內容大鋼
    《半導體廠務項目工程管理》旨在系統介紹半導體廠務項目工程管理的理論與實踐，為集成電路生產領域的從業者、高校相關專業師生提供一套全面、實用的知識體系，並能深入理解半導體廠務項目工程管理的核心要素，掌握關鍵系統的設計、運行與維護技能，為半導體製造工廠的高效、穩定運行貢獻力量。
    全書共7個單元，具體內容為半導體廠務項目工程管理概述、高低壓電力系統和FMCS的設計與運行維護、動力系統的設計與運行維護、排氣系統的設計與運行維護、潔凈室系統的設計與運行維護、氣化系統的設計與運行維護、純廢水系統的設計與運行維護。
    本書注重理論與實踐相結合，既涵蓋了半導體廠務項目工程管理的理論知識，又提供了豐富的實際案例和操作指南，可作為集成電路生產領域的廠務工程師、運維工程師的學習參考用書，也可作為高職高專和應用型本科相關專業參考教材。
作者介紹
編者:沈曉宇//王棟//戴麗華|責編:任鑫//朱林
目錄
前言
第1單元  半導體廠務項目工程管理概述
  項目1  半導體廠務項目工程管理介紹
    任務1.1  半導體廠務系統概述
  習題
第2單元  高低壓電力系統和FMCS的設計與運行維護
  項目2  高低壓電力系統的組成
    任務2.1  高壓開關櫃
    任務2.2  緊急供電的作用與選擇
    任務2.3  電力設備的維護
    任務2.4  廠務接地系統
  項目3  FMCS
    任務3.1  FMCS網路架構
    任務3.2  FMCS儀器選型
    任務3.3  FMCS子系統邏輯控制
  習題
第3單元  動力系統的設計與運行維護
  項目4  動力系統
    任務4.1  PCW系統
    任務4.2  工藝真空系統
    任務4.3  清掃真空系統
    任務4.4  冷熱源系統
  習題
第4單元  排氣系統的設計與運行維護
  項目5  排氣系統
    任務5.1  一般廢氣處理系統
    任務5.2  有機廢氣處理系統
    任務5.3  酸鹼性廢氣處理系統
    任務5.4  毒性廢氣處理系統
  習題
第5單元  潔凈室系統的設計與運行維護
  項目6  潔凈室系統
    任務6.1  潔凈室系統介紹
    任務6.2  凈化風系統
    任務6.3  潔凈室環境檢測
  習題
第6單元  氣化系統的設計與運行維護
  項目7  氣體系統
    任務7.1  大宗氣體
    任務7.2  特種氣體
    任務7.3  氣櫃操作及故障排查
    任務7.4  GMS
    任務7.5  氣體系統應急處理流程
    任務7.6  氣體個人防護裝備
  項目8  化學品系統
    任務8.1  化學品種類
    任務8.2  化學品供應方式
    任務8.3  化學品應急處理流程
    任務8.4  化學品系統材質的選用
    任務8.5  化學品設備操作及故障排查

    任務8.6  化學品個人防護裝備
  習題
第7單元  純廢水系統的設計與運行維護
  項目9  純水系統
    任務9.1  純水系統的介紹
    任務9.2  超純水系統的運行維護
  項目10  廢水系統
    任務10.1  廢水的種類
    任務10.2  廢水處理系統
  習題

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