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高k柵介質材料與器件集成(清華大學出版社十四五普通高等教育本科規劃教材)/面向新工科的材料類基礎教材叢書
所属分类:
電子電腦
>>
電工無線電自動化
>>
無線電電子.電訊
作者:
編者:何剛|責編:魯永芳
出版社:
清華大學
丛书项:
面向新工科的材料類基礎教材叢書
本書旨在向材料及微 電子集成相關專業的高年 級本科生、研究生及從事 材料與器件集成行業的科 研人員介紹柵介質材料制 備與相關器件集成的專業 技術。本書共10章,包括 了集成電路的發展趨勢及 后摩爾時代的器件挑戰, 柵介質材料的基本概念及 物理知識儲備,柵介質材 料的基本製備技術及表徵 方法;著重介紹了柵介質 材料在不同器件中的集成 應用,如高κ與金屬柵、 場效應晶體管器件、薄膜 晶體管器件、存儲器件及 神經形態器件等。本書包 含柵介質材料的基本製備 技術,同時突出了柵介質 材料在器件應用中的先進 性和前沿性,反映了后摩 爾時代器件集成的最新研 究進展,是理論與實踐應 用的有機結合。
人民幣:
RMB 79.00
元 售价:
NT$ 316.00
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