集成電路ESD模型器件與電路設計(精)/集成電路系列叢書
內容大鋼
本書系統性地總結了團隊在靜電放電（ESD）防護領域多年積累的理論成果與技術實踐，內容涵蓋ESD產生機制、表徵手段、模型發展以及電路與器件設計等核心知識模塊。全書共6章，由淺入深地介紹了電源軌ESD鉗位電路的設計方案對比、ESD與閂鎖的物理驗證方法、高壓可控硅整流器工程實例、面向高漏電工藝良率問題的實際案例攻關，以及器件級、系統級和失效分析ESD模型的發展脈絡與研究前沿。本書通過理論闡述與案例解析相結合的方式，既為初學者構建了完整的ESD知識體系，也為深入理解集成電路先進工藝下的可靠性挑戰提供了前沿視角。
本書可作為微電子、集成電路設計領域的專業教材或科研參考用書，尤其適合從事晶元可靠性設計的工程師、科研人員及研究生閱讀。
作者介紹
王源//陸光易//汪洋|責編:劉海艷|總主編:王陽元
目錄
第1章 緒論
1.1 ESD/EOS事件
1.2 ESD防護設計窗口的定義、脈衝類型與模擬方法
1.2.1 ESD防護設計窗口的定義
1.2.2 ESD脈衝類型
1.2.3 ESD模擬方法
1.2.4 基礎ESD防護器件概述
1.3 高魯棒性片上ESD防護設計所面臨的挑戰
1.3.1 晶元級ESD防護所面臨的挑戰
1.3.2 系統級ESD防護所面臨的挑戰
1.4 本章小結
參考文獻
第2章 電源軌ESD鉗位電路設計
2.1 概述
2.2 經典的電源軌ESD鉗位電路
2.2.1 靜態探測型電源軌ESD鉗位電路
2.2.2 瞬態探測型電源軌ESD鉗位電路
2.2.3 傳統的瞬態閂鎖表徵方案
2.3 混合探測型電源軌ESD鉗位電路
2.3.1 電路原理分析與模擬結果
2.3.2 電路版圖設計與測試結果分析
2.4 觸發電壓可調型電源軌ESD鉗位電路
2.4.1 電路原理分析與模擬結果
2.4.2 電路版圖設計與測試結果分析
2.5 電源軌ESD鉗位電路的瞬態表徵
2.5.1 三端瞬態特性表徵方法
2.5.2 定時關斷型電源軌ESD鉗位電路
2.5.3 電路模擬與測試結果
2.6 本章小結
參考文獻
第3章 集成電路產品ESD與閂鎖的物理驗證方法
3.1 概述
3.2 ESD與閂鎖物理驗證技術
3.3 ESD與閂鎖的設計規則體系
3.4 ESD與閂鎖物理驗證的DRC體系
3.4.1 ESD與閂鎖關聯的DRC驗證設置
3.4.2 ESD與閂鎖關聯的DRC設計規則分析
3.4.3 ESD與閂鎖DRC物理驗證結果的風險評估策略
3.5 ESD與閂鎖物理驗證PERC體系
3.5.1 PERC驗證案例
3.5.2 拓撲結構檢查結果分析
3.5.3 LDL驗證結果分析
3.5.4 P2P驗證結果分析
3.5.5 CD驗證結果分析
3.6 本章小結
參考文獻
第4章 高壓功率ESD防護器件設計
4.1 概述
4.2 電氣標準IEC61000-4-2
4.3 基於高壓工藝的SCR器件
4.3.1 高壓SCR結構研究進展
4.3.2 面向高壓ESD應用的SCR堆疊策略
4.3.3 面向CAN匯流排ESD應用的雙向SCR
4.3.4 面向RS-485協議ESD應用的非對稱雙向SCR
4.4 本章小結
參考文獻
第5章 FinFET工藝中電源軌ESD鉗位電路良率提升攻關
5.1 概述
5.2 設計回顧與實測異常性能
5.2.1 堆疊型電源軌ESD鉗位電路正向設計回顧
5.2.2 堆疊型電源軌ESD鉗位電路異常的電學性能
5.3 漏電流異常根因定位
5.3.1 過驅動應用可靠性風險的再次評估
5.3.2 實測異常電學性能的模擬復現
5.3.3 物理失效分析對工藝根因的定位
5.4 本章小結
參考文獻
第6章 系統級有效的ESD防護設計
6.1 概述
6.2 器件級ESD模型
6.2.1 回滯型ESD防護器件模型
6.2.2 非回滯型ESD防護器件模型
6.2.3 ESD防護器件模型實例
6.3 系統級ESD模型
6.3.1 系統級ESD測試激勵
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