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光刻機運維與裝調(集成電路類專業系列教材高職高專機電專業互聯網+創新規劃教材十四五普通高等教育規劃教材)

  • 作者：編者:高桂麗//楊懷文//侯鋒//王俊峰|責編:孫丹
  • 出版社：北京大學
  • ISBN：9787301373040
  • 出版日期：2026/10/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：207
人民幣：RMB 59 元      售價：元
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內容大鋼
    本書是面向集成電路製造領域，特別是光刻工藝設備技術崗位需求而精心編寫的產教融合型專業教材。
    全書共有五個項目模塊，以「認知-拆裝-調試-操作」為主線，主要介紹了光刻機的基本概念、發展歷程、核心功能、硬體構成、組態軟體及工藝環境要求，系統地闡述了光刻機的拆裝規範、關鍵子系統（如掩模板傳輸、晶圓傳輸、光學系統等）的安裝與調試方法，以及氣路、電路、伺服系統、水冷系統的連接與檢測技術。學生可初步掌握光刻機點位調試、視覺標定、運行操作、參數優化及日常維護保養等核心技能。
    本書可作為高等院校與高職高專院校「光刻機裝調與運維」課程的教材，也可作為集成電路製造相關技術領域研究人員的參考用書。
作者介紹
編者:高桂麗//楊懷文//侯鋒//王俊峰|責編:孫丹
目錄
項目1  集成電路製造工藝及生產線
  任務1.1  集成電路製造技術
    1.1.1  晶元製造
    1.1.2  工藝劃分
    1.1.3  工藝技術路線
  任務1.2  集成電路生產線的發展歷程和發展趨勢
    1.2.1  集成電路生產線的發展歷程
    1.2.2  集成電路生產線的建設現狀與發展趨勢
  【課後習題】
項目2  光刻機基本認知
  任務2.1  光刻機概述
    2.1.1  光刻工藝
    2.1.2  光刻機的分類
  任務2.2  光刻機的工作原理、發展歷程和發展趨勢
    2.2.1  光刻機的功能及在半導體製造中的作用
    2.2.2  光刻機的發展歷程、結構及工作原理
    2.2.3  中國光刻機發展
    2.2.4  光刻機的發展趨勢
  任務2.3  主要光刻機製造商及其核心產品
    2.3.1  阿斯麥公司
    2.3.2  尼康公司
    2.3.3  佳能公司
    2.3.4  上海微電子
  任務2.4  光刻機硬體認知
    2.4.1  光學系統硬體認知
    2.4.2  掩模板傳輸系統硬體認知
    2.4.3  晶圓傳輸系統硬體認知
    2.4.4  其他配套模塊認知
  任務2.5  光刻機組態軟體認知
    2.5.1  登錄界面
    2.5.2  操作主界面
    2.5.3  掩模板工作操作界面
    2.5.4  晶圓工作操作界面
    2.5.5  配方界面
    2.5.6  設備狀態監控界面
    2.5.7  曝光設定界面
    2.5.8  伺服控制界面
    2.5.9  操作面板按鈕
  任務2.6  光刻機工藝環境與安全防護認知
    2.6.1  光刻機潔凈區
    2.6.2  個人防護裝備穿戴
    2.6.3  緊急機器關閉按鈕
  【課後習題】
項目3  光刻機拆裝與調節
  任務3.1  認識工具
    3.1.1  常用鉗工工具
    3.1.2  常用電工工具
  任務3.2  掩模板傳輸系統拆裝與調節
    3.2.1  掩模板傳輸系統安裝
    3.2.2  掩模板搬運模塊拆卸

  任務3.3  晶圓傳輸系統拆裝與調節
    3.3.1  晶圓傳輸系統安裝
    3.3.2  晶圓機械臂拆卸
  任務3.4  光學系統安裝
    3.4.1  投影物鏡和照明系統組件安裝
    3.4.2  激光模塊安裝
  任務3.5  氣路連接
    3.5.1  真空氣路連接與調試
    3.5.2  氣動線路連接
  任務3.6  電氣線路連接
    3.6.1  繼電器線路連接
    3.6.2  綜合電氣線路連接
  任務3.7  伺服系統安裝與調試
    3.7.1  伺服系統線路連接
    3.7.2  伺服通信設置
    3.7.3  限位原點調試
    3.7.4  信號讀取和確認
    3.7.5  伺服限位說明
  任務3.8  水冷系統連接與維護
    3.8.1  水冷系統連接與參數設置
    3.8.2  水冷機維護
  【課後習題】
項目4  光刻機調試
  任務4.1  掩模板搬運工作點位調試
    4.1.1  取上料掩模板位調試
    4.1.2  取放料橫移掩模板位調試
    4.1.3  取掩模板拍照位調試
  任務4.2  晶圓搬運工作點位調試
    4.2.1  晶圓搬運工作點位調試的注意事項
    4.2.2  晶圓下料過程的放晶圓緩衝位調試
    4.2.3  晶圓下料過程的放晶圓位調試
    4.2.4  晶圓工作台的取晶圓位調試
    4.2.5  晶圓工作台的放晶圓位調試
    4.2.6  晶圓上料過程的取晶圓位調試
    4.2.7  晶圓上料過程的取晶圓緩衝位調試
    4.2.8  晶圓上料過程的放檢測晶圓位調試
    4.2.9  取上料晶圓位調試
    4.2.10  取搬運晶圓位調試
    4.2.11  激光開始位調試
  任務4.3  視覺系統鏡頭調試
    4.3.1  視覺相機安裝
    4.3.2  鏡頭通信設置
    4.3.3  鏡頭設置——定位和調焦
  任務4.4  視覺系統標定
    4.4.1  視覺相機設置
    4.4.2  視覺匹配模板設置
    4.4.3  直線查找
    4.4.4  圓查找
    4.4.5  視覺角度糾偏
    4.4.6  坐標糾偏

    4.4.7  九點標定
  【課後習題】
項目5  光刻機操作
  任務5.1  基本運行操作
    5.1.1  啟動設置
    5.1.2  裝載掩模板和晶圓
    5.1.3  創建工作任務
    5.1.4  設置參數
    5.1.5  執行曝光作業
    5.1.6  卸載掩模板和晶圓
    5.1.7  關閉設備
  任務5.2  參數調整與優化
    5.2.1  曝光時間調整
    5.2.2  焦點偏移位置設置與優化
    5.2.3  透鏡補償參數設置與優化
  任務5.3  維護與保養
    5.3.1  日常維護
    5.3.2  每周保養
    5.3.3  半年保養
  【課後習題】
附錄  AI伴學內容及提示詞
參考文獻

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