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聚焦離子束--晶元檢測

作者：鄧昱//劉辰//王英//陳振|責編:鞏奚若
出版社：南京大學
ISBN：9787305297779

出版日期：2025/12/01
裝幀：平裝
頁數：278

人民幣：RMB 68 元售價：元

內容大鋼

聚焦離子束（Focused Ion Beam，FIB）是半導體器件晶元檢測與修復的核心裝備。隨著器件晶元的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化、多功能化，越來越多的檢測分析與微納加工（修復）均需要使用到聚焦離子束。本書即從聚焦離子束的功能特點出發，緊密聯繫目前新技術發展狀況，結合案例實物圖解，講解聚焦離子束對集成器件晶元的檢測與修復，以期對高校研究生，高年級本科生和高科技企業研發人員的相關學習和培訓起到指導作用。

作者介紹

鄧昱//劉辰//王英//陳振|責編:鞏奚若

1. 晶元結構與製程工藝概述
2. 晶元失效檢測技術與設備
3. 晶元量測技術與設備
4. 聚焦離子束在晶元檢測
5. 聚焦離子束在晶元修復
6. 聚焦離子束晶元量測
7. Ai 輔助聚焦離子束技術
8. 附錄

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