幫助中心 | 我的帳號 | 關於我們
進階搜尋
car

同類熱銷排行榜

最近瀏覽的商品

碳化硅壓阻式高溫壓力感測器關鍵技術研究

  • 作者：李永偉|責編:郭鵬飛//王欣
  • 出版社：西安交大
  • ISBN：9787569340266
  • 出版日期：2025/08/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：114
人民幣：RMB 78 元      售價：元
放入購物車
加入收藏夾
內容大鋼
    本書聚焦碳化硅壓阻式高溫壓力感測器關鍵技術研究。緒論闡述研究意義、國內外現狀、內容及創新點。第二章進行感測器設計，含相關理論、晶元設計與封裝結構設計。第三章研究P型4H-SiC外延層表徵及電連接穩定性。第四章探討密封腔結構製備工藝。第五章研製樣機並測試。最後總結與展望。研究圍繞碳化硅材料，從設計、工藝到樣機測試全面展開，涉及壓阻性能、歐姆接觸、鍵合工藝等關鍵技術，為碳化硅壓阻式高溫壓力感測器發展提供理論與實踐支撐。
作者介紹
李永偉|責編:郭鵬飛//王欣
目錄
第1章  緒論
  1.1  研究意義
  1.2  國內外研究現狀
    1.2.1  高溫壓力感測器研究現狀分析
    1.2.2  壓阻式壓力感測器國內外研究現狀
  1.3  研究內容及創新點
    1.3.1  主要研究內容及章節安排
    1.3.2  研究創新點
  1.4  本章小結
第2章  碳化硅壓阻式高溫壓力感測器設計
  2.1  碳化硅壓阻式壓力感測器相關理論
    2.1.1  碳化硅材料性能介紹
    2.1.2  半導體壓阻式壓力感測器基本原理
    2.1.3  壓力感測器敏感膜片力學特性分析
  2.2  壓阻式壓力感測器晶元設計
    2.2.1  壓力敏感膜片優化設計
    2.2.2  壓敏電阻設計
    2.2.3  感測器靈敏度模擬分析
  2.3  感測器晶元封裝結構設計
    2.3.1  封裝方案設計
    2.3.2  封裝模擬驗證
  2.4  本章小結
第3章  P型4H-SiC外延層的表徵及金屬/碳化硅電連接穩定性研究
  3.1  P型4H-SiC外延片製備及外延層的表徵
    3.1.1  P型4H-SiC外延片的結構設計及製備
    3.1.2  P型4H-SiC外延片的外延層表徵
  3.2  基於單懸臂樑結構的P型4H-SiC壓阻性能表徵
    3.2.1  基於單懸臂樑結構的4H-SiC壓阻係數提取模型建立
    3.2.2  4H-SiC單懸臂樑結構的製備及P型4H-SiC壓阻性能的表徵
  3.3  基於傳輸線模型的P型4H-SiC耐高溫歐姆接觸工藝
    3.3.1  傳輸線模型分析與設計
    3.3.2  P型4H-SiC歐姆接觸工藝研究
    3.3.3  P型4H-SiC歐姆接觸溫度特性分析
  3.4  凸台狀壓敏電阻與金屬引線電連接穩定性研究
    3.4.1  基於RIE的「正梯形狀」壓敏電阻的淺刻蝕工藝研究
    3.4.2  「正梯形狀」壓敏電阻與金屬引線電連接性能測試
  3.5  本章小結
第4章  基於碳化硅鍵合的密封腔結構製備工藝研究
  4.1  基於鎳掩膜的碳化硅等離子體深刻蝕工藝
    4.1.1  鎳掩膜的製備工藝
    4.1.2  基於ICP的碳化硅深刻蝕工藝
  4.2  基於碳化硅直接鍵合的密封腔結構的製備及表徵
    4.2.1  碳化硅直接鍵合實驗
    4.2.2  碳化硅鍵合結構的表徵分析
    4.2.3  碳化硅直接鍵合機理分析
  4.3  基於等離子處理的低溫Au-Au鍵合工藝研究
    4.3.1  低溫Au-Au鍵合實驗
    4.3.2  低溫Au-Au鍵合結構的表徵分析
  4.5  本章小結
第5章  碳化硅基壓阻式高溫壓力感測器樣機研製及測試

  5.1  感測器晶元加工及電連接性能測試
    5.1.1  感測器晶元MEMS加工工藝方案設計
    5.1.2  感測器晶元的製備
    5.1.3  感測器晶元溫度性能測試
  5.2  基於Au-Au鍵合技術的感測器封裝方法研究
    5.2.1  感測器封裝方案設計
    5.2.2  感測器封裝工藝
  5.3  感測器性能測試
    5.3.1  常溫環境下感測器性能測試
    5.3.2  高溫環境下感測器性能測試
  5.4  本章小結
第6章  總結與展望
  6.1  本研究完成的主要工作
  6.2  下一步研究工作
參考文獻

  • 商品搜索：
  • | 高級搜索
首頁│ 新手上路│ 客服中心│ 關於我們│ 聯絡我們│ Top↑│
Copyrightc 1999~2008 美商天龍國際圖書股份有限公司 臺灣分公司. All rights reserved.
營業地址:臺北市中正區重慶南路一段103號1F 105號1F-2F
讀者服務部電話：02-2381-2033 02-2381-1863　時間：週一-週五 10:00-17:00
　服務信箱：bookuu@69book.com 客戶、意見信箱:cs@69book.com
ICP證：浙B2-20060032