內容大鋼
本書針對后摩爾時代集成電路產業日益嚴重的功耗問題，簡要介紹晶元功耗、工作電壓和場效應晶體管亞閾值特性的關係，並通過解析鐵電負電容場效應晶體管陡峭亞閾值特性工作機理，闡明鐵電負電容場效應晶體管技術對於突破后摩爾時代功耗瓶頸的關鍵作用。為明確鐵電負電容場效應晶體管領域的發展現狀，本書講述該領域各個方面的代表性研究成果，一方面闡述已經取得的成果，另一方面希望通過剖析亟待解決的關鍵技術問題，指明未來發展方向。
本書主要內容包括氧化鉿基鐵電材料，鐵電負電容場效應晶體管的概念及其發展歷程、基本電學特性、電容匹配原則、負微分電阻（NDR）效應以及頻率響應特性等。此外，本書還詳細闡述了鐵電負電容效應存在性研究及其本質探索的相關內容。
本書是一本理論與實踐並重的專業技術圖書，可供從事新型低功耗器件研究及鐵電負電容場效應晶體管研究的科研工作者和相關專業的高校研究生閱讀參考。
目錄
第1章 緒論
1.1 后摩爾時代的低功耗應用需求
1.2 后摩爾時代的新型低功耗場效應晶體管
1.2.1 隧穿場效應晶體管
1.2.2 自旋場效應晶體管
1.2.3 狄拉克源場效應晶體管
1.2.4 鐵電負電容場效應晶體管
1.3 本章小結
參考文獻
第2章 氧化鉿基鐵電材料
2.1 鐵電材料概述
2.1.1 鐵電材料定義
2.1.2 鐵電材料的發展與需求
2.2 氧化鉿基鐵電材料的研究進展
2.2.1 晶體結構
2.2.2 摻雜工程
2.2.3 工藝探索
2.3 新型氧化鉿基鐵電材料的應用
2.3.1 高介電響應「多態相邊界」絕緣材料
2.3.2 非易失性可重構鐵電摻雜技術
2.4 本章小結
參考文獻
第3章 鐵電負電容場效應晶體管的概念及其發展歷程
3.1 負電容效應
3.1.1 負電容效應定義
3.1.2 負電容效應原理
3.1.3 負電容效應的穩定性
3.2 鐵電負電容場效應晶體管陡峭亞閾值特性
3.2.1 亞閾值擺幅
3.2.2 陡峭亞閾值特性
3.3 鐵電負電容場效應晶體管發展歷程
3.3.1 基本電學特性
3.3.2 電容匹配原則
3.3.3 NDR效應
3.3.4 頻率響應特性
3.3.5 負電容效應存在性及本質
3.4 本章小結
參考文獻
第4章 鐵電負電容場效應晶體管的基本電學特性
4.1 鐵電負電容場效應晶體管製備工藝
4.2 鐵電負電容場效應晶體管性能表徵
4.2.1 鐵電材料的鐵電性表徵
4.2.2 鍺溝道鐵電負電容場效應晶體管電學性能表徵
4.2.3 鍺錫溝道鐵電負電容場效應晶體管電學性能表徵
4.3 本章小結
參考文獻
等5章 鐵電負電容場效應晶體管的電容匹配原則
5.1 電容匹配原則影響因素分析
5.2 電容匹配原則調控手段論證
5.2.1 TAnnealing對NCFET電學性能的影響
5.2.2 AFE AMOS對NCFET電學性能的影響
5.2.3 tFE對NCFET電學性能的影響
5.2.4 VG，range對NCFET電學性能的影響
5.3 電容匹配原則微觀機理解析
5.4 本章小結
參考文獻
第6章 鐵電負電容場效應晶體管的NDR效應
6.1 NDR效應產生機理
6.2 NDR效應調控機制
6.2.1 理論研究
6.2.2 實驗研究
6.3 NDR效應相關應用
6.3.1 短溝道效應抑制
6.3.2 高增益跨導放大器
6.4 本章小結
參考文獻
第7章 鐵電負電容場效應晶體管的頻率響應特性
7.1 鐵電材料本征延時
7.1.1 鐵電電容-電阻延時評估系統
7.1.2 亞納秒鐵電電容快速測試系統
7.2 鐵電負電容器件頻率響應特性
7.2.1 材料選取原則
7.2.2 結構設計原則
7.2.3 電路應用頻率響應特性
7.3 本章小結
參考文獻
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