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存儲器工藝與器件技術/中國科學院大學研究生教材系列

  • 作者：編者:霍宗亮//夏志良//靳磊//王頎//洪培真|責編:王芳
  • 出版社：清華大學
  • ISBN：9787302623182
  • 出版日期：2023/08/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：412
人民幣：RMB 99 元      售價：元
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內容大鋼
    本書根據中國科學院大學「存儲器工藝與器件技術」課程講義整理而來。在撰寫的過程中，本書以中國科學院大學辦學方針為指導，「科教融合、育人為本、協同創新、服務國家」，明確了注重基礎知識建設，培養創新精神的教學目標。本書共12章，包括半導體存儲器分類、NAND Flash技術、3D NAND Flash製造工藝、3D NAND Flash器件單元特性、3D NAND Flash模型模擬技術、3D NAND Flash陣列及操作、3D NAND Flash可靠性特性與測試、NAND Flash電路設計和系統應用、DRAM技術以及新型存儲器技術等內容。為幫助讀者深入掌握有關內容，每章還給出了適量的習題。
    本書適合作為高等院校微電子學及集成電路等相關學科的高年級本科生和研究生的教材或教學參考書，也可作為廣大從事半導體存儲器產業的科研工作者和工程師的參考書。
作者介紹
編者:霍宗亮//夏志良//靳磊//王頎//洪培真|責編:王芳
目錄
第1章  半導體存儲器概述
  1.1  半導體存儲器的市場狀況
    1.1.1  市場需求
    1.1.2  全球存儲晶元供給情況
    1.1.3  中國存儲器市場情況
  1.2  半導體存儲器器件簡介
    1.2.1  半導體存儲器分類
    1.2.2  存儲器的存儲單元
    1.2.3  NAND Flash產品簡介
  本章小結
  習題
  參考文獻
第2章  Flash存儲器技術簡介
  2.1  Flash的歷史
  2.2  2D NAND Flash技術發展
    2.2.1  2D NAND Flash架構及操作
    2.2.2  2D NAND F1ash技術發展及尺寸縮小
    2.2.3  2D NAND Flash面臨的技術挑戰
  2.3  3D NAND Flash技術發展
    2.3.1  3D NAND Flash的技術優勢及器件原理
    2.3.2  3D NAND CTF的結構發展
    2.3.3  3D浮柵型NAND Flash的結構發展
  2.4  NAND Flash未來發展趨勢
    2.4.1  3D NAND Flash未來發展方向
    2.4.2  非馮·諾依曼架構簡介
  2.5  NOR Flash技術
    2.5.1  NOR F1ash基本操作
    2.5.2  NOR Flash存儲陣列結構
  本章小結
  習題
  參考文獻
第3章  3D NAND Flash存儲器工藝集成技術
  3.1  半導體基本單步工藝
    3.1.1  光刻工藝
    3.1.2  刻蝕工藝
    3.1.3  外延生長工藝
    3.1.4  離子注入/快速熱處理
    3.1.5  爐管工藝
    3.1.6  其他薄膜工藝
    3.1.7  濕法工藝
    3.1.8  化學機械平坦化
  3.2  3D存儲器工藝集成
    3.2.1  外圍電路模塊
    3.2.2  NO疊層模塊
    3.2.3  台階模塊
    3.2.4  溝道孑L模塊
    3.2.5  柵隔離槽模塊
    3.2.6  接觸孑L模塊
    3.2.7  後段模塊
  本章小結

  習題
  參考文獻
第4章  3D NAND Flash存儲器器件單元特性
  4.1  NAND F1ash操作物理機制
    4.1.1  NAND Flash存儲單元基本結構
    4.1.2  NAND Flash存儲單元操作機制
    4.1.3  NAND F1ash存儲單元讀取操作
    4.1.4  NAND Flash存儲單元編程操作
    4.1.5  NAND Flash存儲單元擦除操作
  4.2  3D NAND多晶硅溝道技術
    4.2.1  多晶硅溝道模型與晶界陷阱
    4.2.2  多晶硅溝道漏電控制
  4.3  溫度對3D NAND Flash單元器件特性的影響
    4.3.1  3D NAND Flash單元器件閾值電壓溫度特性分析
    4.3.2  3D NAND F1ash單元器件閾值電壓溫度特性優化
  4.4  3D NAND Flash器件挑戰與發展
  本章小結
  習題
  參考文獻
第5章  3D NAND Flash存儲器模型模擬技術
第6章  3D NAND Flash存儲器陣列操作技術
第7章  3D NAND Flash存儲器可靠性技術
第8章  3D NAND Flash存儲器測試表徵技術
第9章  NAND Flash存儲器晶元設計技術
第10章  NAND Flash存儲器系統應用技術
第11章  DRAM存儲器技術
第12章  新型存儲器技術

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