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納米多孔GaN基薄膜的製備及其特性研究/博士後文庫

  • 作者：曹得重|責編:任靜
  • 出版社：科學
  • ISBN：9787030758668
  • 出版日期：2023/06/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：142
人民幣：RMB 98 元      售價：元
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內容大鋼
    本書主要以幾種新型的納米多孔GaN基薄膜為研究對象，系統地介紹了其納米孔結構的製備及特性研究，為其在光解水、發光器件、柔性器件及可穿戴設備等領域的應用奠定了理論和實驗基礎。
    本書所介紹的納米多孔GaN基薄膜材料與器件的製備、測試和表徵方法可為從事寬禁帶半導體的研究人員提供參考，也可作為高等院校微電子專業研究生學習薄膜生長、微納濕法刻蝕工藝、性能測試和表徵的參考資料。
作者介紹
曹得重|責編:任靜
目錄
「博士後文庫」序言
前言
第1章  緒論
  1.1  GaN的材料特性
  1.2  GaN材料的應用背景
  1.3  GaN單晶薄膜的研究現狀
  1.4  納米多孔GaN單晶薄膜的研究現狀
第2章  實驗設備和測試方法
  2.1  實驗設備
    2.1.1  有機金屬化學氣相沉積系統
    2.1.2  電化學刻蝕系統
  2.2  測試方法
    2.2.1  表面形貌測試方法
    2.2.2  晶體結構測試方法
    2.2.3  物質成分測試方法
    2.2.4  光學特性測試方法
    2.2.5  力學特性測試方法
    2.2.6  電學特性測試方法
    2.2.7  其他測試方法
第3章  GaN薄膜在預刻蝕階段的電化學刻蝕機理
  3.1  實驗部分
  3.2  結果和討論
  3.3  本章小結
第4章  納米多孔GaN薄膜的光催化特性
  4.1  實驗部分
    4.1.1  納米多孔GaN薄膜的製備
    4.1.2  光催化測試
  4.2  結果和討論
    4.2.1  納米多孔GaN薄膜的表徵
    4.2.2  納米多孔GaN薄膜的光催化活性
    4.2.3  納米多孔GaN薄膜和多孔Si的光催化活性的對比
  4.3  本章小結
第5章  納米多孔GaN薄膜的光電化學特性
  5.1  實驗部分
    5.1.1  GaN單晶薄膜的製備
    5.1.2  納米多孔GaN薄膜的製備
    5.1.3  測試和表徵
  5.2  結果和討論
  5.3  本章小結
第6章  納米多孔GaN基MQW的製備及其光電化學特性
  6.1  實驗部分
  6.2  結果和討論
    6.2.1  納米多孔GaN基MQW的製備和表徵
    6.2.2  剝離的納米多孔GaN基MQW的製備和表徵
    6.2.3  納米多孔GaN基MQW的光電化學特性
  6.3  本章小結
第7章  納米多孔GaN基LED的製備及特性
  7.1  實驗部分
  7.2  結果和討論
  7.3  本章小結

第8章  具有分佈布拉格反射鏡的GaN基LED製備及特性
  8.1  實驗部分
    8.1.1  GaN薄膜的外延生長
    8.1.2  片尺寸納米多孔GaNDBR的製備
    8.1.3  LED結構的外延生長
    8.1.4  測試與表徵
  8.2  結果和討論
  8.3  本章小結
第9章  具有GaN/納米空腔的InGaN基LED的製備及特性
  9.1  實驗部分
    9.1.1  GaN薄膜的外延生長
    9.1.2  片尺寸多層納米多孔GaN結構的製備
    9.1.3  LED結構的外延生長
    9.1.4  測試與表徵
  9.2  結果和討論
  9.3  本章小結
第10章  具有中孔GaN分佈布拉格反射鏡的InGaN/GaN光陽極的製備及其光電化學特性
  10.1  實驗部分
    10.1.1  樣品製備
    10.1.2  測試和表徵
  10.2  結果和討論
  10.3  本章小結
第11章  自支撐納米多孔InGaN/GaNMQW的製備及發光特性
  11.1  實驗部分
    11.1.1  薄膜的外延生長
    11.1.2  薄膜的光電化學刻蝕
    11.1.3  測試和表徵
  11.2  結果和討論
  11.3  本章小結
第12章  具有納米多孔GaN反射鏡的多孔InGaN/GaNMQW的光解水特性
  12.1  實驗部分
    12.1.1  薄膜外延生長
    12.1.2  薄膜的電化學刻蝕
    12.1.3  測試和表徵
  12.2  結果和討論
  12.3  本章小結
參考文獻
編後記
彩圖

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