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集成電路工藝實驗基礎(高等教育十四五部委級規劃教材)

  • 作者：編者:石建軍//郭穎|責編:竺海娟
  • 出版社：東華大學
  • ISBN：9787566922137
  • 出版日期：2023/06/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：164
人民幣：RMB 45 元      售價：元
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內容大鋼
    本課程作為應用物理專業大四本科生的專業物理實驗課，是一門專業性和實踐性都很強的實踐教學課程。《專業物理實驗》是在《物理學基礎實驗》和《近代物理實驗》基礎上，結合本學校物理專業特色。為物理專業本科生開設的一門基礎課程，教學目的和任務是擴大學生的知識面、培養學生的創新能力，使學生能接觸比較近代的測試方法和測試手段，掌握多種實驗方法，學會運用綜合的方法和手段分析問題並解決問題，提高學生的綜合素質能力。
    開設本課程的目標和任務是使學生熟練掌握半導體材料和器件的製備、基本物理參數以及物理性質的測試原理和表徵方法，為半導體材料與器件的開發、設計與研製打下堅定基礎；同時課程內容不僅講述了等離子體物理基本知識，更注重引導學生對等離子體傳統技術的了解和對前沿技術的把握。由於是實驗課，所以需要學生首先掌握《半導體物理》《半導體器件》和《等離子體物理》的基本知識，再通過本課程培養學生對半導體材料和器件的製備及測試方法的實踐能力。
作者介紹
編者:石建軍//郭穎|責編:竺海娟
目錄
第一章  基礎工藝
  實驗1-1  真空技術
  實驗1-2  矽片的清洗及氧化
  實驗1-3  光刻工藝流程實驗教學
  實驗1-4  氧等離子體刻蝕
  實驗1-5  等離子體增強化學氣相沉積
  實驗1-6  磁控濺射法製備金屬薄膜
  實驗1-7  原子層沉積法製備納米薄膜的實驗原理及工藝流程
第二章  檢測測量技術
  實驗2-1  MOSFET器件特性的測量與分析
  實驗2-2  橢圓偏振儀測薄膜厚度
  實驗2-3  紫外可見分光光度計測量亞甲基藍溶液濃度
  實驗2-4  傅立葉變換紅外光譜法（FTIR）測定硅中雜質氧的含量
  實驗2-5  等離子體朗繆爾探針診斷技術
  附錄
  實驗2-6  等離子體發射光譜診斷技術
  附錄
  實驗2-7  質譜法測定氧氣放電組成成份及能量實驗
  實驗2-8  半導體二極體的伏安特性及溫度特性
  實驗2-9  ICCD器件的特性研究及應用
  實驗2-10  四探針法測量相變材料的變溫電阻曲線
  實驗2-11  薄膜厚度和形貌測量
第三章  工藝基礎及應用
  實驗3-1  表面波等離子體放電實驗
  實驗3-2  脈衝放電等離子體特性實驗
  實驗3-3  低氣壓容性耦合等離子體特性實驗
  附錄
  實驗3-4  低氣壓感性耦合等離子體（ICP）特性實驗
  實驗3-5  等離子體晶格
  實驗3-6  等離子體功能材料製備與光學性能檢測
  實驗3-7  低溫等離子體染料廢水處理實驗
  實驗3-8  低溫等離子體產生O3及其應用的實驗探索
參考文獻

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