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光學和激光掃描技術手冊(原書第2版)(精)

  • 作者:編者:(美)傑拉爾德·馬歇爾//格倫·斯圖茲|譯者:周海憲//程雲芳
  • 出版社:機械工業
  • ISBN:9787111594949
  • 出版日期:2018/08/01
  • 裝幀:精裝
  • 頁數:552
人民幣:RMB 179 元      售價:
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內容大鋼
    傑拉爾德·馬歇爾、格倫·斯圖茲主編的《光學和激光掃描技術手冊(原書第2版)(精)》具有以下顯著特點:第 一,內容豐富,不僅有詳盡的光學和激光掃描技術理論,而且給出許多實際的掃描實例;第二,覆蓋面廣,既介紹了常規的掃描技術(如單反射鏡、轉鼓),又闡述了一些利用諸如微納米光學(微光機電系統)和全息光學的先進技術研發的光學和激光掃描裝置;第三,為使本書能夠充分反映光學和激光掃描技術領域的國際先進水平,彙集了該領域美國、英國、日本等國的26位專家的研究成果,具有一定代表性。
    本書可供光電子學、空間感測器及系統、遙感、熱成像、軍事成像、光通信領域中從事光學和激光掃描器設計和製造、光電子儀器總體設計、光學系統和光機結構設計的設計師、工程師閱讀,也可作為大專院校相關專業本科生、研究生和教師的參考書。

作者介紹
編者:(美)傑拉爾德·馬歇爾//格倫·斯圖茲|譯者:周海憲//程雲芳

目錄
譯者序
原書第2版前言
原書第1版前言
致謝
第1章  激光束特性: M2模型
  1.1  概述
  1.2  激光束特性(理論)發展史
  1.3  本章內容的組織結構
  1.4  混模激光束的 M2模型
    1.4.1  基橫模:厄米特-高斯和拉蓋爾-高斯函數
    1.4.2  混模:純模的非相干疊加
    1.4.3  與光束直徑相關的基模特性
    1.4.4  基模光束的傳播特性
    1.4.5  混模激光束的傳播特性:嵌入式高斯分佈和 M2模型
  1.5  利用透鏡對基模和混合模進行光束變換
    1.5.1  利用光束-透鏡轉換技術測量激光束髮散角
    1.5.2  光束-透鏡轉換的應用:深聚焦的局限性
    1.5.3  逆變換常數
  1.6  基模和混模光束直徑的定義
    1.6.1  由輻照度分佈確定光束直徑
    1.6.2  獲取實用光束分佈圖的具體思考
      1.6.2.1  市售掃描輪廓儀的工作原理
    1.6.3  五種定義和測量光束直徑(常用)方法的比較
      1.6.3.1  Dpin(針孔分佈 1/e2限幅點的間隔)
      1.6.3.2  Dslit(狹縫分佈 1/e2限幅點的間隔)
1.6.3.3  Dke(刀口掃描限幅點15.9%和84.1%的兩倍間隔)
1.6.3.4  D86(通過總能量86.5%的同心圓孔直徑)
      1.6.3.5  D4σ(針孔輻照度分佈標準偏差的4倍)
      1.6.3.6  D4σ(對輻照度分佈信噪比的靈敏度)
      1.6.3.7  ISO選擇 D4σ作為標準直徑的理由
      1.6.3.8  直徑定義的總結
    1.6.4  直徑定義之間的轉換
      1.6.4.1  M2是唯一的嗎?
      1.6.4.2  轉換規則的經驗基礎
      1.6.4.3  不同定義直徑間的轉換規則
  1.7  測量光束質量M2的具體問題:四切法
    1.7.1  四切法的邏輯性
      1.7.1.1  利用附加透鏡形成可測束腰
      1.7.1.2  束腰位置精度
    1.7.2  數據的圖形分析
    1.7.3  對數據進行曲線擬合分析的相關討論
    1.7.4  市售測量儀器和軟體包
  1.8  光束不對稱性類型
    1.8.1  光束不對稱性的常見類型
    1.8.2  等效柱形光束的概念
    1.8.3  其他光束的不對稱性:扭曲光束,複雜像散
  1.9  M2模型在激光掃描器中的應用
    1.9.1  立體光刻掃描器
    1.9.2  轉換為統一的刀口法體系
    1.9.3  為何使用多模激光束?

    1.9.4  如何解讀激光束測試報告?
    1.9.5  利用等效透鏡代替聚焦擴束鏡
    1.9.6  景深和掃描面位置處光斑尺寸的變化
    1.9.7  限制掃描面上激光光斑圓度的技術要求
      1.9.7.1  案例A:10%束腰不對稱性
      1.9.7.2  案例B:10%發散度不對稱性
      1.9.7.3  案例C:像散造成掃描面上有12%的不圓度
  1.10  總結: M2模型綜述
致謝
專業術語
參考文獻
第2章  激光掃描光學系統
  2.1  概述
  2.2  激光掃描器結構
    2.2.1  物鏡掃描
    2.2.2  物鏡後置掃描
    2.2.3  物鏡前置掃描
  2.3  光學設計和優化:概述
  2.4  光學不變數
    2.4.1  衍射受限
    2.4.2  實際高斯光束
    2.4.3  切趾率
  2.5  性能問題
    2.5.1  圖像輻照度
    2.5.2  像質
    2.5.3  解析度和像素數
    2.5.4  焦深
    2.5.5  F-θ條件
  2.6  初級像差和三級像差
    2.6.1  初級色差校正
    2.6.2  三級像差性質
      2.6.2.1  球差
      2.6.2.2  慧差
      2.6.2.3  像散
      2.6.2.4  畸變
    2.6.3  三級像差經驗法則
    2.6.4  匹茲伐(Pitzval)半徑的重要性
  2.7  具體設計要求
    2.7.1  檢流計式掃描器
    2.7.2  多面體反射鏡掃描
      2.7.2.1  掃描線彎曲
      2.7.2.2  光束位移
      2.7.2.3  交叉掃描誤差
      2.7.2.4  小結
    2.7.3  多面體反射鏡掃描效率
    2.7.4  內轉鼓式系統
    2.7.5  全息掃描系統
  2.8  物鏡設計模式
    2.8.1  簡單掃描物鏡的設計剖析
    2.8.2  採用傾斜面的多結構布局

      9.8.6.3  性能衰減過程
    9.8.7  應用準則
      9.8.7.1  何種情況下使用微機電掃描器
    9.8.8  預期發展
    9.8.9  小結    365    9.
總結
致謝
參考文獻
第10章  全息條形碼掃描器:應用、性能和設計
  10.1  概述
    10.1.1  通用產品代碼
    10.1.2  其他條形碼
    10.1.3  條形碼性質
  10.2  非全息型UPC掃描器
    10.2.1  前視掃描器
    10.2.2  卷繞掃描圖
    10.2.3  景深
  10.3  全息條形碼掃描器
    10.3.1  全息偏轉器定義
    10.3.2  全息條形碼掃描的奇特性質
    10.3.3  普通光學條形碼掃描器的景深
    10.3.4  全息條形碼掃描器的景深
  10.4  全息掃描技術的其他特性
    10.4.1  聚焦區域疊加
    10.4.2  可變聚光孔徑
    10.4.3  小衍射面的識別和掃描跟蹤
    10.4.4  掃描角倍增
  10.5  全息條形碼掃描器的偏轉器材料
    10.5.1  面浮雕相位介質
    10.5.2  體相位介質
  10.6  全息偏轉器的製造技術
    10.6.1  重鉻酸鹽明膠全息光碟
    10.6.2  採用機械法複製面浮雕全息光碟
  10.7  全息條形碼掃描器實例:美國碼捷公司五邊形掃描器
    10.7.1  五邊形掃描圖
    10.7.2  五邊形掃描機理
參考文獻
第11章  聲光掃描器和調製器
  11.1  概述
  11.2  聲光相互作用
    11.2.1  光彈性效應
    11.2.2  各向同性聲光相互作用
    11.2.3  各向異性衍射
  11.3  聲光調製器和偏轉器的設計
    11.3.1  解析度和帶寬
    11.3.2  反應帶寬
    11.3.3  偏轉器設計方法
    11.3.4  調製器設計方法
  11.4  掃描專用聲光器件
    11.4.1  聲行波透鏡

      11.4.1.1  設計方面的考慮
    11.4.2  啁啾衍射透鏡
    11.4.3  多通道聲光調製器
  11.5  聲光器件的材料
    11.5.1  總體考慮
    11.5.2  理論指標
    11.5.3  聲光掃描器材料的選擇
  11.6  聲波換能器設計
    11.6.1  換能器特性
    11.6.2  換能器材料
    11.6.3  陣列換能器
  11.7  聲光器件製造技術
    11.7.1  器件殼體製造技術
    11.7.2  換能器的粘結技術
    11.7.3  封裝技術
  11.8  聲光掃描器的應用
    11.8.1  多面體反射鏡掃描器中的多通道聲光調製器
    11.8.2  紅外激光掃描技術
    11.8.3  二級聲光掃描器
      11.8.3.1  掃描器光學系統
      11.8.3.2  驅動器
    11.8.4  聲光器件和聲光可調諧濾波器的應用
      11.8.4.1  聲光調製器
      11.8.4.2  聲光偏轉器
      11.8.4.3  聲光變頻器
      11.8.4.4  聲光可調諧濾波器
      11.8.4.5  聲光波長選擇器
      11.8.4.6  多色聲光調製器
  11.9  總結
致謝
參考文獻
第12章  電光掃描器
  12.1  概述
  12.2  電光效應理論
    12.2.1  電光效應
    12.2.2  線性電光效應
    12.2.3  二次方電光效應
  12.3  電光偏轉器的主要類型
    12.3.1  基本拓撲學
    12.3.2  表述電光掃描器的術語
      12.3.2.1  光束位移和偏轉角
      12.3.2.2  支點
      12.3.2.3  可分辨光斑
    12.3.3  單元件及組裝件
    12.3.4  成形電場
      12.3.4.1  均勻施加電壓形成梯度折射率
      12.3.4.2  固定間隔的梯度折射率
      12.3.4.3  固定間隔和電壓情況下的梯度折射率
    12.3.5  極化結構
      12.3.5.1  稜柱式極化結構

      12.3.5.2  矩形掃描器
12.3.5.2.1 矩形掃描器中最佳三角形數目
12.3.5.2.2 矩形掃描器的偏轉靈敏度
12.3.5.2.3 矩形掃描器的支點位置
      12.3.5.3  梯形掃描器
12.3.5.3.1 梯形掃描器的偏轉靈敏度
12.3.5.3.2 梯形掃描器的支點位置
12.3.5.3.3 梯形和矩形掃描器的比較
      12.3.5.4  喇叭形掃描器
12.3.5.4.1 喇叭形掃描器的偏轉靈敏度
12.3.5.4.2 喇叭形掃描器的支點位置
12.3.5.4.3 喇叭形掃描器與梯形和矩形掃描器的比較
      12.3.5.5  域反轉全內反射偏轉器
      12.3.5.6  域反轉光柵結構
      12.3.5.7  其他極化結構
  12.4  電光偏轉器的電子驅動裝置
    12.4.1  概述
    12.4.2  高壓電源
      12.4.2.1  普通升壓斬波電路
      12.4.2.2  反激變換電路
    12.4.3  數字驅動器
      12.4.3.1  簡單的推挽電路
      12.4.3.2  絕熱驅動器
    12.4.4  模擬驅動電路
  12.5  電光材料的性質和選擇
    12.5.1  概述
    12.5.2  二磷酸腺?(ADP)、磷酸二氫鉀(KDP)及相關同晶型體
    12.5.3  鈮酸鋰及其相關材料
    12.5.4  磷酸氧鈦鉀(KTP)
    12.5.5  其他材料
      12.5.5.1  AB類二元複合材料
      12.5.5.2  液體的克爾效應
      12.5.5.3  ( Pb, La)( Zr, Ti)O3體系的電光陶瓷材料
      12.5.5.4  其他材料
    12.5.6  材料選擇
  12.6  電光偏轉系統設計過程
  12.7  結論
致謝
參考文獻
第13章  壓電掃描器
  13.1  概述
  13.2  結構和設計
  13.3  溫度效應
  13.4  移動的性質
  13.5  堆棧式撓性結構的性質
  13.6  電驅動
    13.6.1  雜訊
    13.6.2  電流
  13.7  可靠性
  13.8  傾斜工作台設計

  13.9  線性工作台設計
    13.9.1  串擾
    13.9.2  串擾最小技術
    13.9.3  提高剛性
  13.10  阻尼技術
  13.11  閉環系統
  13.12  應變式感測器
  13.13  電容式感測器
  13.14  閉環系統的電子控制裝置
  13.15  總結
參考文獻
第14章  光碟掃描技術
  14.1  概述
    14.1.1  光碟技術發展史
    14.1.2  光碟特性
    14.1.3  光學讀/寫原理
  14.2  光碟系統的應用
    14.2.1  只讀光碟系統
      14.2.1.1  視頻光碟
      14.2.1.2  CD/CD-ROM
      14.2.1.3  DVD
    14.2.2  一次寫入光碟系統
      14.2.2.1  可錄光碟(CD-R)
    14.2.3  可擦光碟系統
      14.2.3.1  PCR光碟
      14.2.3.2  MO光碟
  14.3  光碟系統的基本設計
    14.3.1  光學攝像頭的光學系統
      14.3.1.1  光學結構布局
      14.3.1.2  光強度分佈的影響
    14.3.2  波像差
      14.3.2.1  光碟基板的像差
      14.3.2.2  光學元件的波像差
      14.3.2.3  半導體激光器的像差
      14.3.2.4  散焦
      14.3.2.5  波像差公差
    14.3.3  光學攝像頭裝置
      14.3.3.1  光學攝像頭結構
      14.3.3.2  致動器
  14.4  半導體激光器
    14.4.1  激光器結構
      14.4.1.1  Al-Ga-As雙異質結激光器的工作原理
      14.4.1.2  高功率激光技術
    14.4.2  激光束的像散
    14.4.3  激光雜訊
  14.5  調焦和跟蹤技術
    14.5.1  調焦伺服系統和誤差信號的探測方法
      14.5.1.1  光束形狀探測法
      14.5.1.2  光斑尺寸探測法
      14.5.1.3  光束位置探測法

      14.5.1.4  光束相位差探測法
    14.5.2  跟蹤誤差信號探測法
      14.5.2.1  探測方法
      14.5.2.2  三光束法
      14.5.2.3  擺動法
      14.5.2.4  差分相位探測法
      14.5.2.5  推挽式跟蹤誤差信號探測法
      14.5.2.6  狹縫探測法
      14.5.2.7  採樣跟蹤法
  14.6  徑向訪問和驅動技術
    14.6.1  快速隨機訪問
    14.6.2  光學驅動系統
致謝
附錄
附錄A
附錄B
附錄C
參考文獻
第15章  電腦直接製版掃描系統
  15.1  概述
  15.2  掃描系統類型
    15.2.1  系統解析度和電腦直接製版
    15.2.2  內鼓式掃描器
    15.2.3  外鼓式掃描器
    15.2.4  F-θ掃描結構
    15.2.5  德國貝斯印公司印版機
  15.3  確定實現CTP的方法
    15.3.1  生產率
    15.3.2  印版曝光時間
    15.3.3  印版處理時間
    15.3.4  曝光量公式
    15.3.5  光源功率
    15.3.6  有效面積掃描速率
    15.3.7  德國貝斯印印版機有效面積掃描速率
  15.4  印版機系統實例
    15.4.1  日本富士(Fuji)公司Saber V8-HS型印版機(內鼓式)
    15.4.2  美國柯達(Kodak)公司Generation News型印版機(外鼓式)
    15.4.3  美國麥德美(MacDermid)柔性印版機( F-θ掃描器)
    15.4.4  德國貝斯印6系列印版機
  15.5  結論
參考文獻
第16章  水下成像同步激光線掃描器
  16.1  概述
  16.2  激光線掃描器發展史
  16.3  水下激光線掃描器成像系統光學設計原理
    16.3.1  雙錐體線掃描器
    16.3.2  單六面體反射鏡線掃描器
    16.3.3  小結
  16.4  光線追跡研究:焦平面孔徑的技術要求
    16.4.1  雙錐形多面體反射鏡線掃描器

    16.4.2  單六面體反射鏡線掃描器
    16.4.3  討論
  16.5  單六面體反射鏡線掃描器在測試箱中的實驗結果
  16.6  總結和展望
參考文獻

    2.8.3  多結構布局反射多面體模式
    2.8.4  單通道多面體反射鏡結構設計實例
      2.8.4.1  CODE V程序中多結構布局物鏡參數填寫格式
      2.8.4.2  物鏡設計過程
    2.8.5  雙軸掃描
  2.9  激光掃描物鏡設計實例
    2.9.1  300DPI辦公印表機物鏡(λ =633nm)
    2.9.2  廣角掃描物鏡(λ =633nm)
    2.9.3  中等視場角掃描物鏡(λ =633nm)
    2.9.4  長掃描線中等視場掃描物鏡(λ =633nm)
    2.9.5  適用於發光二極體的掃描物鏡(λ =800nm)
    2.9.6  雙波長高精度掃描物鏡(λ =1064和950nm)
    2.9.7  高解析度遠心掃描物鏡(λ =408nm)
  2.10  掃描物鏡製造、質量控制和最終檢測
  2.11  全息激光掃描系統
    2.11.1  利用平麵線性光柵掃描
    2.11.2  掃描線彎曲和掃描線性度
    2.11.3  掃描盤擺動的影響
  2.12  全息非接觸長度測量
    2.12.1  速度,精度和可靠性
    2.12.2  光學系統結構布局
    2.12.3  光學性能
  2.13  全息激光列印系統
  2.14  總結
致謝
參考文獻
第3章  數字掃描成像系統的像質
  3.1  概述
    3.1.1  掃描成像系統的成像理論
      3.1.1.1  研究範圍
      3.1.1.2  參考文獻問題
      3.1.1.3  掃描器類型
    3.1.2  掃描像質評價
  3.2  基本概念和效應
    3.2.1  數字成像的基本原理
      3.2.1.1  數字圖像結構
      3.2.1.2  採樣定理和空間關係
      3.2.1.3  灰度等級量化:一些限制因素
    3.2.2  基本的系統效應
      3.2.2.1  模糊
      3.2.2.2  系統響應
      3.2.2.3  半色調系統響應
      3.2.2.4  雜訊
      3.2.2.5  彩色成像
3.2.2.5.1 基礎知識
3.2.2.5.2 色度學和色度圖
  3.3  一些具體問題的考慮
    3.3.1  掃描頻率的影響
    3.3.2  位置誤差或運動缺陷
    3.3.3  其他不均勻性

      3.3.3.1  對分色圖像中周期非均勻性的認識
  3.4  產生多級灰度信號的輸入掃描器(包括數字相機)特性
    3.4.1  色調再現和大面積系統響應
    3.4.2  MTF和相關的彌散量
      3.4.2.1  MTF法
      3.4.2.2  人眼視覺系統的空間頻率響應
      3.4.2.3  電子增強MTF法:提高清晰度
    3.4.3  雜訊度量
  3.5  二值閾值化掃描成像系統的評價
    3.5.1  評價二值掃描系統的重要性
      3.5.1.1  傾斜線和線陣列
    3.5.2  閾值成像色調再現的一般原理和灰度楔的應用
      3.5.2.1  基本的特徵曲線和雜訊
    3.5.3  二值像質評價:MTF法和彌散法
      3.5.3.1  解析度(辨別細節的一種度量)
      3.5.3.2  線成像的相互影響
    3.5.4  與雜訊特性相關的二值成像系統的度量
      3.5.4.1  灰度楔雜訊
      3.5.4.2  線條邊緣雜訊範圍的度量
      3.5.4.3  半色調或網格式數字圖像中的雜訊
  3.6  成像性能的綜合度量
    3.6.1  基本信噪比
    3.6.2  探測量子效率和雜訊等效量子
    3.6.3  特定的應用程序上下文
    3.6.4  調製要求的測量
    3.6.5  MTF曲線下的面積和二次方根積分
    3.6.6  主觀像質的度量
    3.6.7  信息內容和容量
  3.7  專業的圖像處理技術
    3.7.1  有損壓縮技術
    3.7.2  數字圖像的非線性增強和恢復
    3.7.3  色彩管理
  3.8  評價像質的心理測量法
    3.8.1  心理物理學、客戶調查和心理量表之間的關係
    3.8.2  心理測量法
    3.8.3  量表技術
      3.8.3.1  識別法(標稱法)
      3.8.3.2  等序法(順序法)
      3.8.3.3  類型(標稱類型、順序類型、區間類型)
      3.8.3.4  圖形量尺法(區間量表法)
      3.8.3.5  成對比較(順序、區間、比例類型)
      3.8.3.6  配分量表(區間類型)
      3.8.3.7  量值估算(區間量表、比例量表)
      3.8.3.8  比例估算(比例量表)
      3.8.3.9  語義差別法(順序量表、區間量表)
      3.8.3.10  利開特(Likert)法(順序量表)
      3.8.3.11  混合型量表(順序型、區間型、比例型)
    3.8.4  包括統計法在內的試驗問題
  3.9  參考數據和圖表
致謝

參考文獻
第4章  多面體反射鏡掃描器:組件、性能和設計
  4.1  概述
  4.2  掃描反射鏡類型
    4.2.1  稜柱式多面體掃描反射鏡
    4.2.2  錐體式多面體掃描反射鏡
    4.2.3  單面體掃描反射鏡
    4.2.4  不規則多面體掃描反射鏡
  4.3  材料
  4.4  多面體反射鏡製造技術
    4.4.1  傳統的拋光技術
    4.4.2  單點金剛石切削技術
    4.4.3  普通拋光與金剛石切削技術比較
  4.5  多面體掃描反射鏡的技術規範
    4.5.1  小反射面間夾角的一致性
    4.5.2  尖塔差
    4.5.3  小反射面與光軸的一致性
    4.5.4  小反射面半徑
    4.5.5  小反射面面形精度
    4.5.6  表面質量與散射
  4.6  鍍膜
  4.7  電動機和軸承系統
    4.7.1  氣動驅動裝置
    4.7.2  磁滯同步電動機
    4.7.3  直流無刷電動機
    4.7.4  軸承類型
  4.8  掃描器技術規範
    4.8.1  動態跟蹤誤差
    4.8.2  抖動和速度穩定性
    4.8.3  平衡
    4.8.4  垂直度
    4.8.5  時間同步
  4.9  掃描器的成本因素
  4.10  系統設計方面的考慮
  4.11  多面體反射鏡的尺寸計算
  4.12  使掃描系統圖像缺陷最小化的措施
    4.12.1  帶狀缺陷
    4.12.2  抖動
    4.12.3  散射和鬼像
    4.12.4  光強度變化
    4.12.5  畸變
    4.12.6  弓形彎曲
  4.13  總結
致謝
參考文獻
第5章  高性能多面體反射鏡掃描器的電動機和控制器 (驅動器)
  5.1  概述
  5.2  多面體反射鏡掃描器的基礎知識
    5.2.1  多面體反射鏡掃描器結構布局
    5.2.2  多面體反射鏡的旋轉與掃描角的關係

    5.2.3  多面體反射鏡旋轉速度的考慮
  5.3  案例研究:膠片記錄系統
    5.3.1  系統性能技術要求
    5.3.2  轉鏡系統參數
    5.3.3  掃描器公差
    5.3.4  高性能界定
  5.4  電動機
    5.4.1  技術要求
    5.4.2  磁滯同步電動機
    5.4.3  無刷直流電動機特性
      5.4.3.1  轉矩和繞組特性
      5.4.3.2  無刷電動機電路模型
      5.4.3.3  繞組布局
      5.4.3.4  換相感測器的定時和定位
      5.4.3.5  轉子布局
  5.5  控制系統設計
    5.5.1  交流同步電動機控制系統
    5.5.2  無刷直流電動機控制系統
  5.6  應用實例
    5.6.1  軍用車輛熱成像掃描器
    5.6.2  攜帶型熱成像掃描儀
    5.6.3  高速單反射面掃描器
    5.6.4  多功能單板控制器和驅動器
  5.7  總結
致謝
參考文獻
第6章  旋轉掃描器的軸承系統
    6.1 概述    244   6.2  旋轉掃描器的軸承類型
    6.2.1  氣體潤滑軸承
    6.2.2  油潤滑軸承
    6.2.3  磁力軸承
    6.2.4  球軸承
  6.3  軸承選擇原則
  6.4  氣體軸承
    6.4.1  背景
    6.4.2  基礎知識
      6.4.2.1  低熱量產生
      6.4.2.2  寬溫度範圍
      6.4.2.3  對環境無污染
      6.4.2.4  平穩度的重複性
      6.4.2.5  旋轉精度
      6.4.2.6  雜訊和振動
    6.4.3  空氣靜壓軸承
      6.4.3.1  空氣靜壓圓柱軸承
6.4.3.1.1 載荷能力
6.4.3.1.2 徑向剛性
6.4.3.1.3 熱量生成
6.4.3.1.4 軸承氣流
      6.4.3.2  空氣靜壓止推軸承
6.4.3.2.1 載荷能力

6.4.3.2.2 軸向剛性
6.4.3.2.3 發熱量
      6.4.3.3  空氣靜壓軸承掃描器結構
    6.4.4  氣體動壓軸承
      6.4.4.1  螺旋槽式軸承
      6.4.4.2  葉式軸承
      6.4.4.3  主(轉)軸結構
    6.4.5  氣體動靜壓混合軸承
    6.4.6  軸承和轉軸的動力學理論
      6.4.6.1  同步渦動
      6.4.6.2  半速渦動
      6.4.6.3  轉軸固有頻率
      6.4.6.4  轉軸平衡
    6.4.7  轉軸組件
      6.4.7.1  光學件和鏡座
6.4.7.1.1 多面體反射鏡
6.4.7.1.2 單面反射鏡
6.4.7.1.3 單面反射鏡的固定
6.4.7.1.4 全息光碟
      6.4.7.2  電動機
      6.4.7.3  編碼器
  6.5  球軸承
    6.5.1  軸承設計
    6.5.2  掃描器結構
  6.6  磁力軸承
    6.6.1  設計原理
    6.6.2  掃描器結構
  6.7  光學掃描誤差
    6.7.1  與軸承相關的誤差
    6.7.2  與光學元件相關的誤差
      6.7.2.1  多面體反射鏡
      6.7.2.2  單面反射鏡
    6.7.3  誤差校正
      6.7.3.1  多面體反射鏡
      6.7.3.2  單面反射鏡
  6.8  總結
致謝
參考文獻
第7章  物鏡前多面體反射鏡掃描技術
  7.1  概述
    7.1.1  多面體反射鏡掃描系統的公式和坐標
    7.1.2  瞬時掃描中心
    7.1.3  圖像幅面外的穩定鬼像
  7.2  多面體反射鏡掃描系統的公式和坐標
    7.2.1  本節目的
    7.2.2  中點和掃描軸
    7.2.3  反射鏡面角 A
    7.2.4  反射鏡小反射面寬度
    7.2.5  光束寬度(直徑) D
    7.2.6  掃描占空比(掃描效率)

    7.2.7  弦高(垂度)
    7.2.8  G的坐標
    7.2.9  P的坐標
    7.2.10  物鏡光軸
    7.2.11  公式
      7.2.11.1  掃描軸 PU
      7.2.11.2  物鏡光軸
      7.2.11.3  過 GP的入射光軸
      7.2.11.4  反射鏡小反射面的平分線和法線
    7.2.12  另一種解析方法
      7.2.13 圖7.4  的特點
    7.2.14  小結
  7.3  瞬時掃描中心
    7.3.1  本節目的
    7.3.2  瞬時掃描中心的軌跡
    7.3.3  中點和掃描軸
    7.3.4  瞬時掃描中心坐標的推導
    7.3.5  求解
    7.3.6  表格程序
    7.3.7  瞬時掃描中心
    7.3.8  點 P軌跡
    7.3.9  偏角限制
    7.3.10  有限束寬 D
    7.3.11  註釋
    7.3.12  小結
  7.4  圖像幅面外的穩定鬼像
    7.4.1  本節目的
    7.4.2  穩定鬼像
    7.4.3  面角 A
    7.4.4  小反射面間的切線角
    7.4.5  掃描軸
    7.4.6  偏角2β
    7.4.7  中點位置
    7.4.8  掃描占空比(掃描效率)η
    7.4.9  旋轉軸偏心距
    7.4.10  選擇入射光束偏角2β
    7.4.11  雜散光束gh和鬼像GH
    7.4.12  鬼像視場角?
    7.4.13  入射光束位置
    7.4.14  圖像幅面的掃描占空比ηω
    7.4.15  入射光束偏角27°
    7.4.16  入射光束偏角52°
    7.4.17  入射光束偏角92°
    7.4.18  入射光束偏角124°
    7.4.19  圖像幅面內的鬼像
    7.4.20  圖像幅面外的鬼像
    7.4.21  小反射面數目
    7.4.22  掃描器和物鏡直徑
    7.4.23  註釋
    7.4.24  小結

致謝
參考文獻
第8章  振鏡掃描器 (檢流計)和共振振鏡掃描器
第9章  8.1 概述
    8.1.1  發展史
  8.2  組件和設計問題
    8.2.1  檢流計掃描器
      8.2.1.1  力矩電動機
8.2.1.1.1 力矩電動機
8.2.1.1.2 繞組結構
8.2.1.1.3 散熱
      8.2.1.2  位置感測器
8.2.1.2.1 增益和指向穩定性方面的考慮
8.2.1.2.2 感測器漂移
8.2.1.2.3 閉環漂移感測器
8.2.1.2.4 光學感測器
8.2.1.2.5 電容式感測器
      8.2.1.3  軸承
8.2.1.3.1 球軸承
8.2.1.3.2 交叉撓性支撐
      8.2.1.4  反射鏡
8.2.1.4.1 反射鏡結構和安裝
8.2.1.4.2 反射鏡基板的機械保護
      8.2.1.5  圖像畸變
8.2.1.5.1 餘弦照度定律
8.2.1.5.2 空氣的折射率
8.2.1.5.3 空氣動力學
8.2.1.5.4 反射鏡表面的離軸
8.2.1.5.5 光路畸變
      8.2.1.6  動態性能
8.2.1.6.1 諧振
8.2.1.6.2 動態平衡失調
8.2.1.6.3 機械諧振
8.2.1.6.4 電樞結構
8.2.1.6.5 驅動信號
      8.2.1.7  評價指標
    8.2.2  共振振鏡掃描器
      8.2.2.1  新型設計
      8.2.2.2  懸浮結構
      8.2.2.3  感應動圈
  8.3  掃描系統
    8.3.1  掃描結構
      8.3.1.1  物鏡后掃描技術
      8.3.1.2  物鏡前掃描技術
      8.3.1.3  飛點物鏡掃描技術
    8.3.2  雙軸光束控制系統
      8.3.2.1  單反射鏡雙軸光束控制系統
      8.3.2.2  中繼透鏡雙軸光束控制系統
      8.3.2.3  雙反射鏡典型結構
      8.3.2.4  槳式掃描器雙反射鏡布局

      8.3.2.5  高爾夫球桿式雙反射鏡布局
      8.3.2.6  採用三個移動光學元件的雙軸光束控制系統
  8.4  驅動放大器
  8.5  掃描應用
    8.5.1  材料處理
    8.5.2  顯微技術
      8.5.2.1  物鏡前掃描技術
      8.5.2.2  馬文·明斯基共焦顯微術
      8.5.2.3  飛點物鏡掃描顯微鏡
      8.5.2.4  直線型飛點物鏡顯微鏡
      8.5.2.5  旋轉型飛點物鏡顯微鏡
  8.6  總結
致謝
專業術語
參考文獻
第9章  振蕩掃描器的撓性樞軸
  9.1  概述
    9.1.1  宏觀撓性樞軸簡介
  9.2  撓性樞軸技術
    9.2.1  相關計算公式
    9.2.2  撓性材料
    9.2.3  應力
    9.2.4  腐蝕
  9.3  撓性樞軸製造技術
    9.3.1  材料製造技術
    9.3.2  撓性材料截切技術
    9.3.3  防腐蝕技術
  9.4  撓性裝置安裝技術
  9.5  交叉撓性樞軸
    9.5.1  概述
    9.5.2  奔迪克斯樞軸
    9.5.3  美國劍橋科技公司的交叉撓性裝置設計實例
  9.6  廉價懸臂式掃描器
    9.6.1  一般特性
    9.6.2  設計案例
    9.6.3  需要的電動機尺寸
  9.7  振弦式掃描器
  9.8  微機電撓性掃描器
    9.8.1  微機電掃描器設計技術
    9.8.2  微機電掃描器的製造技術
    9.8.3  掃描器工作原理
    9.8.4  材料性質
    9.8.5  靜態性能
      9.8.5.1  磁滯性
      9.8.5.2  線性
      9.8.5.3  均勻性
      9.8.5.4  產出率
    9.8.6  動態性能
      9.8.6.1  動力學
      9.8.6.2  壽命

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