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  • 硅基MEMS製造技術(精)/集成電路系列叢書

  • 所属分类：工業技術>>機械儀錶武器>>機械、儀錶     作者：編者:王躍林//吳國強|責編:張劍//柴燕|總主編:王陽元     出版社：電子工業
  • 丛书项：集成電路系列叢書
  •     隨著MEMS技術的不斷成 熟和全面走嚮應用，MEMS 晶元的量產問題變得越來越 重要。顯然MEMS晶元的量 產必須在集成電路生產線上 進行，但是MEMS晶元製造 與集成電路製造相比有明顯 不同，這使得集成電路生產 線在轉型製造MEMS晶元時 會遇到一些特殊的工藝問題 。本書主要圍繞如何利用集 成電路平面工藝製造三維微 機械結構，進而實現硅基 MEMS晶元的批量製造，系 統介紹了硅基MEMS晶元制 造技術。由於MEMS涉及學 科較多，為了讓不同學科背 景的人能夠快速讀懂本書， 本書先對MEMS的來龍去脈 及MEMS出現的原因進行了 簡單介紹，然後詳細介紹了 相關內容，盡量做到通俗易 懂。希望讀者通過本書能全 面了解硅基MEMS晶元製造 技術，為從事與MEMS相關 的工作打下基礎。 本書適合從事MEMS晶元 研發的科技人員閱讀使用， 也可作為高等學校相關專業 的教學用書。
  • 人民幣：RMB 138.00 元     售价：NT$ 552.00 元
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  • 常見液壓系統迴路解析及工程案例

  • 所属分类：工業技術>>機械儀錶武器>>機械、儀錶     作者：孟慶雲|責編:廉靜     出版社：化學工業
  •     全書涉及20個行業領域 的液壓系統應用案例，採用 逐個迴路剖析方式，將複雜 工程迴路簡化為液壓基本回 路，通過迴路講解，化繁為 簡，利於初學者學習提高。 主要內容包括：數控車床液 壓系統、通用液壓機液壓系 統、自卸汽車液壓系統、垃 圾車液壓系統、注塑機液壓 系統、液壓叉車液壓系統、 多缸順序專用銑床液壓系統 、樂池升降平台液壓系統、 卧式鏜銑加工中心液壓系統 、起貨機的液壓系統、折彎 機液壓系統、掃路車液壓系 統、打捆機液壓系統、飛機 起落架液壓系統、剪板機液 壓系統、機械手液壓系統、 C型翻車機液壓系統、採煤 機液壓系統、電弧煉鋼爐液 壓系統、推土機液壓系統。 本書可供機械相關行業 的液壓科研人員、技術人員 和設計人員閱讀使用，也可 供高等院校的相關專業師生 學習和參考。
  • 人民幣：RMB 59.80 元     售价：NT$ 239.20 元
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