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  • 硅微机械传感器

  • 所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>自动化技术     作者：郑志霞     出版社：浙江大学
  •     郑志霞所著的《硅微机械传感器》围绕硅微机械传感器的基本原理、工 艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论。主要内容有：微 机械系统的发展历史、现状、应用领域及前景；硅的物理、化学、机械特性 ；微机械传感器的主要工艺技术和特殊T艺的研究；常见微机械传感器结构 ；硅微机械压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、热流体传感器的基 本原理、结构设计、工艺过程及应用等；常见传感器的接口电路；微机械传 感器的封装技术及几种常见微传感器的封装。 《硅微机械传感器》可供从事微机械传感器、光电子技术、通信技术、 精密仪器与检测技术等的教学、科研、工程技术人员以及高等院校的师生参 考。
  • 人民币：RMB 35.00 元     售价：NT$ 157.50 元
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