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  • 硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书

  • 所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表     作者：编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元     出版社：电子工业
  • 丛书项：集成电路系列丛书
  •     随着MEMS技术的不断成 熟和全面走向应用，MEMS 芯片的量产问题变得越来越 重要。显然MEMS芯片的量 产必须在集成电路生产线上 进行，但是MEMS芯片制造 与集成电路制造相比有明显 不同，这使得集成电路生产 线在转型制造MEMS芯片时 会遇到一些特殊的工艺问题 。本书主要围绕如何利用集 成电路平面工艺制造三维微 机械结构，进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造，系 统介绍了硅基MEMS芯片制 造技术。由于MEMS涉及学 科较多，为了让不同学科背 景的人能够快速读懂本书， 本书先对MEMS的来龙去脉 及MEMS出现的原因进行了 简单介绍，然后详细介绍了 相关内容，尽量做到通俗易 懂。希望读者通过本书能全 面了解硅基MEMS芯片制造 技术，为从事与MEMS相关 的工作打下基础。 本书适合从事MEMS芯片 研发的科技人员阅读使用， 也可作为高等学校相关专业 的教学用书。
  • 人民币：RMB 138.00 元     售价：NT$ 552.00 元
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