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  • 金刚石膜粒子探测器材料/先进功能材料丛书

  • 所属分类:数理化学科>>数理化学科>>物理学     作者:夏义本|责编:许健     出版社:科学
  • 丛书项:先进功能材料丛书
  •     本书系统介绍了金刚石 膜材料的物理性能、制备工 艺技术以及材料与光电探测 器件的关系和原理。其物理 性能包括膜的结构、表面、 界面及掺杂对热和光电性能 的影响;制备工艺技术包括 不同材质的衬底处理,详尽 地描述了微波等离子体和热 丝辅助化学气相沉积法制备 金刚石膜的工艺及各种检测 分析技术;从半导体器件物 理原理出发阐述了金刚石膜 粒子探测器的性能及与材料 间内在联系。详尽报道了国 内外该领域的研究动态。 本书可供从事金刚石膜 研究和生产的科研人员、工 程技术人员和研究生阅读参 考,也可作为光电子材料与 元器件等有关专业的教学参 考书。
  • 人民币:RMB 150.00 元     售价:NT$ 600.00
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