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金剛石膜粒子探測器材料/先進功能材料叢書

  • 作者：夏義本|責編:許健
  • 出版社：科學
  • ISBN：9787030704276
  • 出版日期：2022/01/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：299
人民幣：RMB 150 元      售價：元
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內容大鋼
    本書系統介紹了金剛石膜材料的物理性能、製備工藝技術以及材料與光電探測器件的關係和原理。其物理性能包括膜的結構、表面、界面及摻雜對熱和光電性能的影響；製備工藝技術包括不同材質的襯底處理，詳盡地描述了微波等離子體和熱絲輔助化學氣相沉積法製備金剛石膜的工藝及各種檢測分析技術；從半導體器件物理原理出發闡述了金剛石膜粒子探測器的性能及與材料間內在聯繫。詳盡報道了國內外該領域的研究動態。
    本書可供從事金剛石膜研究和生產的科研人員、工程技術人員和研究生閱讀參考，也可作為光電子材料與元器件等有關專業的教學參考書。
作者介紹
夏義本|責編:許健
目錄
叢書序
前言
第一章  緒論
  1.1  金剛石膜的結構
  1.2  金剛石膜的優異特性
  1.3  化學氣相沉積法金剛石膜的製備技術
  1.4  金剛石膜在光電領域中的主要應用
  參考文獻
第二章  自支撐金剛石膜的製備
  2.1  實驗設備及原理介紹
  2.2  金剛石膜的製備工藝研究
  2.3  自支撐金剛石薄膜的性能
  參考文獻
第三章  金剛石膜表面導電性能研究
  3.1  引言
  3.2  實驗過程
  3.3  自支撐金剛石膜的導電性能
  3.4  本章小結
  參考文獻
第四章  金剛石膜肖特基場效應晶體管
  4.1  引言
  4.2  金剛石與金屬電極的接觸特性
  4.3  MESFET器件製備及性能研究
  4.4  本章小結
  參考文獻
第五章  金剛石膜紫外光探測器
  5.1  引言
  5.2  Zn0材料概述
  5.3  ZnO製備及測試
  5.4  實驗結果與討論
  5.5  Zn0/金剛石結構紫外光探測器的性能研究
  5.6  本章小結
  參考文獻
第六章  金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應用
  6.1  引言
  6.2  氧化鋁襯底的碳離子預注入
  6.3  氧化鋁上金剛石膜的成核分析
  6.4  金剛石的厚膜生長及應力分析
  6.5  金剛石薄膜/氧化鋁複合材料性質研究
  參考文獻
第七章  納米金剛石膜X射線探測器
  7.1  納米金剛石膜的製備和性能表徵
  7.2  納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表徵
  7.3  氫刻蝕對納米金剛石膜電學和光學性能的影響
  7.4  強磁場下納米金剛石膜生長及性能表徵
  參考文獻
第八章  金剛石膜?粒子探測器
  8.1  CVD金剛石膜粒子探測器的研製
  8.2  CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研製
  參考文獻

第九章  粒子探測器讀出電路電子系統——微機多道譜儀的建立
  9.1  前置放大器
  9.2  線性成形放大器
  9.3  多道脈衝高度分析器
  9.4  微機多道譜儀的其它組件
  9.5  輻射探測器讀出電子學系統——微機多道譜儀的建立
  9.6  本章小結
  參考文獻
第十章  金剛石膜生物感測器及在其它光電聲等領域應用
  10.1  金剛石基二極體
  10.2  金剛石基二極體研究進展
  10.3  金剛石在集成電路光刻中的應用
  10.4  其它潛在應用
  10.5  金剛石薄膜修飾后的應用——生物感測器
  10.6  結語
  參考文獻

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