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图解入门(半导体制造设备基础与构造精讲原书第3版)/集成电路科学与技术丛书
所属分类:
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者:
(日)佐藤淳一|责编:杨源|译者:卢涛
出版社:
机械工业
丛书项:
集成电路科学与技术丛书
本书以简洁明了的结构 向读者展现了半导体制造工 艺中使用的设备基础和构造 。全书涵盖了半导体制造设 备的现状以及展望,同时对 清洗和干燥设备、离子注入 设备、热处理设备、光刻设 备、蚀刻设备、成膜设备、
平坦
化设备、监测和分析设 备、后段制程设备等逐章进 行解说。虽然包含了很多生 涩的词汇,但难能
人民币:
RMB 99.00
元 售价:
NT$ 396.00
元
集成电路制造工艺(十二五职业教育国家规划教材)/高等职业院校精品教材系列
所属分类:
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者:
编者:孙萍|责编:李蕊
出版社:
电子工业
丛书项:
高等职业院校精品教材系列
的工艺流程 ;第2个模块为核心模块, 重点介绍薄膜制备、光刻、 刻蚀、掺杂及
平坦
化5个单 项工艺的
人民币:
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元 售价:
NT$ 184.00
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