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高性能拋光材料製備技術

  • 作者:曲晟//穆士博//孫興偉//董祉序|責編:邢濤
  • 出版社:化學工業
  • ISBN:9787122507617
  • 出版日期:2026/09/01
  • 裝幀:平裝
  • 頁數:250
人民幣:RMB 98 元      售價:元
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內容大鋼
    本書系統介紹了高性能拋光材料的製備、性能及其應用。在概述拋光材料基本概念、種類及性能要求的基礎上,重點圍繞SiO2、Al2O3和CeO2基三大系列拋光材料,深入解析其晶體結構、物理化學性質,詳細介紹了固相法、液相法以及氣相法等製備工藝,並探討了原料選擇、製備條件以及添加劑等因素對材料性能的影響。同時,全面闡述了由上述材料構成的複合拋光材料的製備方法與最新研究進展。
    全書內容兼具理論深度與實踐指導價值,可為從事高性能拋光材料研發、生產及應用的相關人員提供參考。

作者介紹
曲晟//穆士博//孫興偉//董祉序|責編:邢濤
    曲晟,瀋陽工業大學講師,碩士研究生導師,瀋陽市拔尖人才,博士畢業於東北大學。主要從事面向先進光學元件和新一代半導體晶圓的超精密製造、無機非金屬材料製備與應用、材料表面改性與塗層技術等相關研究。主持和參與國家自然基金青年科學基金項目(C類)?原青年科學基金項目?、遼寧省科學技術計劃項目、遼寧省教育廳高校基本科研項目-重點項目、國家重點實驗室開放課題項目、國家重點研發計劃「變革性技術」重點專項、國家工信部重大專項、國家自然科學基金重點項目和面上項目等縱向課題。獲得中國儀器儀錶學會科技進步二等獎。參與編寫國家標準1項。參與發表SCI論文30余篇。

目錄
第1章  緒論
  1.1  拋光及拋光材料
  1.2  拋光材料種類
  1.3  拋光材料的性能要求
  1.4  拋光材料製備方法
  1.5  拋光材料性能及評價方法
  1.6  拋光材料製備技術及發展歷程
  1.7  拋光材料未來發展方向
  參考文獻
第2章  SiO2拋光材料
  2.1  硅灰提純法
  2.2  硅溶膠
  2.3  離子交換法
  2.4  溶膠-凝膠法
  2.5  微乳液法
  2.6  模板法
  2.7  改性法
  參考文獻
第3章  Al2O3拋光材料
  3.1  機械研磨法
  3.2  固相反應法
  3.3  硫酸鋁銨熱解法
  3.4  碳酸鋁銨熱分解法
  3.5  沉澱法
  3.6  氣相法
  參考文獻
第4章  CeO2拋光材料
  4.1  固相法
  4.2  液相法
  參考文獻
第5章  複合拋光材料
  5.1  CeO2@SiO2系複合拋光材料
  5.2  Al2O3@CeO2系複合拋光材料
  5.3  CeO2@金剛石系複合拋光材料
  5.4  CeO2@聚苯乙烯系複合拋光材料
  5.5  SiO2@聚苯乙烯系複合拋光材料
  5.6  CeO2@聚甲基丙烯酸甲酯系複合拋光材料
  5.7  SiO2/介孔SiO2@Al2O3系複合拋光材料
  5.8  CeO2/ZrO2@SiO2系複合拋光材料
  參考文獻

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