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真空獲得設備技術原理及應用

  • 作者：編者:張志林|責編:盧萌萌
  • 出版社：化學工業
  • ISBN：9787122492821
  • 出版日期：2026/02/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：205
人民幣：RMB 98 元      售價：元
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內容大鋼
    本書從基礎理論和工程實踐角度系統介紹了真空處理工程及真空泵的工作原理、結構特點、應用設計等內容。在基礎理論篇章中，從真空的研究對象及其特徵入手，建立氣體宏觀與微觀的邏輯及數學關係，並對氣體的特徵進行分析講解，運用數學公式對其關鍵特徵進行描述，幫助讀者建立從理論到工程實踐的橋樑思維。在工程實踐篇章中，本著工程技術實踐從0到1的思路，幫助讀者快速建立產品工程化能力，展開產品設計及研製工作，真正達到學以致用的目的。
    本書共分11章：第1章和第2章介紹了真空技術基礎知識和真空處理技術原理；第3章介紹真空系統的組成、設計與模擬模擬等；第4章至第9章分別介紹了螺桿真空泵、羅茨真空泵、油封機械真空泵、往複真空泵、爪式真空泵、分子真空泵與低溫真空泵的工作原理、結構特點及設計；第10章介紹真空系統部件材料及製造要求等知識；第11章介紹真空設備應用與展望。
    本書可供從事真空技術研究和真空應用工程的技術人員參考使用，也可作為普通高等院校相關專業的教材使用。
作者介紹
編者:張志林|責編:盧萌萌
    張志林，擁有近20年華為研發管理經驗，曾先後在華為無線、華為海思、華為智能汽車BU等體系擔任領域總監、產品部部長、地域部長等重量級崗位。在晶元、半導體關鍵設備及零部件等領域有豐富的行業經驗，並持續開展真空處理系統理論及產品工程化的研究與科研工作。
目錄
第1章  真空技術基礎
  1.1  真空的基本概念
    1.1.1  真空定義與區域劃分
    1.1.2  真空度的表示方法
  1.2  真空處理氣體理論基礎
    1.2.1  氣體運動研究分類
    1.2.2  氣體系統本質
    1.2.3  真空研究必用的三大定律
    1.2.4  真空研究氣體物態方程
    1.2.5  氣體分子微觀模型與宏觀量研究
    1.2.6  影響真空氣體處理的因素
  1.3  真空技術的發展歷程
  1.4  真空技術的應用領域和展望
    1.4.1  應用領域
    1.4.2  應用展望
第2章  真空獲得設備及技術概述
  2.1  真空獲得設備作用與分類總覽
  2.2  真空泵的工作原理與關鍵性能指標
    2.2.1  真空泵的工作原理
    2.2.2  真空泵關鍵性能指標
    2.2.3  真空泵啟動壓強與工作壓強範圍
  2.3  真空泵的選擇原則與注意事項
  2.4  真空處理流體理論
    2.4.1  流體力學發展及分類
    2.4.2  流體力學研究框架基礎
    2.4.3  流體的物性分析
    2.4.4  流體內摩擦力及計算
    2.4.5  真空處理的流體分類
    2.4.6  流體流動描述方法
    2.4.7  流體處理三大方程理解
  2.5  真空處理氣體流量計算
    2.5.1  黏滯流的流量計算
    2.5.2  分子流的流量計算
    2.5.3  黏滯流?分子流的流量計算
  2.6  真空處理氣體流導計算
    2.6.1  流導概念及通用公式
    2.6.2  串/並聯管路流導
    2.6.3  常用形體管道元件流導計算
  2.7  真空處理中需要考慮的氣體現象
    2.7.1  稀薄氣體碰撞
    2.7.2  蒸氣和凝結
    2.7.3  蒸發率和凝結率
    2.7.4  氣體吸附和脫附現象
    2.7.5  氣體滲透現象及相關計算考慮
    2.7.6  氣體遷移帶來的微觀/宏觀思考
  2.8  真空系統氣體總流量組成
  2.9  真空測量技術與儀器簡介
    2.9.1  測量技術
    2.9.2  測量儀器
第3章  真空系統組成、設計與模擬模擬

  3.1  真空系統組成
  3.2  真空容器及其指標
    3.2.1  真空容器的極限真空度
    3.2.2  真空容器的有效抽速
    3.3真空閥門0813.4  真空機組
    3.4.1  低真空機組
    3.4.2  中真空機組
    3.4.3  高真空機組
    3.4.4  超高真空機組
    3.4.5  機組搭配原則
  3.5  真空系統管路連接方式
    3.5.1  不可拆卸連接
    3.5.2  可拆卸的法蘭連接
  3.6  真空系統設計及注意事項
    3.6.1  設計注意事項
    3.6.2  真空系統密封設計
    3.6.3  真空系統抽氣方程
    3.6.4  真空系統有效抽速
    3.6.5  真空容器壓力下降所需時間
  3.7  真空系統泄漏
    3.7.1  概述
    3.7.2  泄漏判斷
    3.7.3  氣體泄漏的數學表達
  3.8  泄漏檢測
    3.8.1  真空系統泄漏檢測
    3.8.2  真空系統檢漏特徵參數及應用
    3.8.3  真空系統泄漏檢測方法確定流程
  3.9  真空處理模擬模擬計算
    3.9.1  模擬模擬求解的過程
    3.9.2  常用模擬模擬計算分類
    3.9.3  SIMPLE演算法介紹
    3.9.4  常用模擬模擬軟體介紹
第4章  螺桿真空泵
  4.1  概述
  4.2  螺桿真空泵分類
    4.2.1  按照螺頭劃分
    4.2.2  按照螺距劃分
  4.3  螺桿真空泵工作原理
    4.3.1  吸氣處理
    4.3.2  壓縮處理
    4.3.3  排氣處理
  4.4  螺桿真空泵端面型線及基本參數
    4.4.1  常見端面型線結構
    4.4.2  端面共軛曲線數學模型
    4.4.3  基本參數求解注意事項
  4.5  螺桿真空泵保養維護
第5章  羅茨真空泵
  5.1  概述
  5.2  結構組成
    5.2.1  轉子布局結構

    5.2.2  羅茨真空泵其他附帶結構
  5.3  羅茨真空泵轉子型線
    5.3.1  轉子外觀結構
    5.3.2  轉子端面型線
  5.4  羅茨真空泵基本參數
    5.4.1  理論幾何抽速
    5.4.2  羅茨真空泵溫度考慮
    5.4.3  有效抽氣量
    5.4.4  零流量壓縮比
    5.4.5  有效壓縮比
    5.4.6  功率估算
  5.5  羅茨真空泵保養維護
第6章  油封機械真空泵
  6.1  旋片真空泵
    6.1.1  旋片真空泵的結構
    6.1.2  旋片真空泵的工作原理
    6.1.3  旋片真空泵的極限壓力
    6.1.4  旋片真空泵的抽速
    6.1.5  旋片真空泵的功率
    6.1.6  旋片真空泵的轉子半徑和腔體半徑
    6.1.7  旋片真空泵的轉子偏心率和旋片長度
    6.1.8  旋片真空泵的維護保養
  6.2  滑閥真空泵
    6.2.1  滑閥真空泵的組成
    6.2.2  滑閥真空泵的工作原理
    6.2.3  滑閥真空泵的結構介紹
    6.2.4  滑閥真空泵的關鍵參數
    6.2.5  滑閥真空泵的保養維護
第7章  往複真空泵
  7.1  概述
  7.2  工作原理
  7.3  組成結構
  7.4  往複真空泵基本參數
    7.4.1  幾何抽速
    7.4.2  極限壓力考慮
  7.5  往複真空泵保養維護
第8章  爪式真空泵
  8.1  概述
  8.2  爪式真空泵的工作原理
  8.3  爪式真空泵轉子型線結構
    8.3.1  曲爪式型線結構
    8.3.2  直爪式型線結構
  8.4  爪式真空泵關鍵參數
    8.4.1  轉子容積
    8.4.2  爪式真空泵壓縮比
    8.4.3  爪式真空泵幾何抽速
  8.5  爪式真空泵保養維護
第9章  分子真空泵與低溫真空泵
  9.1  分子真空泵
    9.1.1  分子真空泵分類與工作原理

    9.1.2  分子真空泵保養維護
  9.2  低溫真空泵
    9.2.1  低溫真空泵工作過程
    9.2.2  低溫真空泵的性能參數
    9.2.3  低溫真空泵的保養維護
第10章  真空系統部件材料與製造
  10.1  涉及材料範圍
  10.2  材料性能要求
    10.2.1  材料滲透性
    10.2.2  材料出氣速率
    10.2.3  材料蒸氣壓
    10.2.4  材料的其他性能
  10.3  金屬材料
    10.3.1  鑄件
    10.3.2  鋼及不鏽鋼
    10.3.3  不?複合鋼板
    10.3.4  有色金屬
  10.4  非金屬材料
    10.4.1  氟塑料
    10.4.2  碳
    10.4.3  碳纖維
    10.4.4  碳纖維?樹脂複合材料
    10.4.5  其它真空材料
    10.4.6  輔助密封材料
  10.5  真空系統部件鑄造工藝
    10.5.1  鑄造工藝的分類
    10.5.2  鑄造工藝的主要特點
    10.5.3  鑄造工藝的發展趨勢
    10.5.4  鑄造常見缺陷
    10.5.5  鑄造質量控制
    10.5.6  鑄造過程
    10.5.7  澆鑄系統
第11章  真空設備應用與展望
  11.1  典型應用及真空設備要求
    11.1.1  IC製備行業
    11.1.2  新能源行業
    11.1.3  化工行業應用
    11.1.4  航天領域應用
    11.1.5  集成部件使用
  11.2  真空設備發展展望
參考文獻

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