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原子層沉積技術--原理及其應用(第2版)/南京大學材料科學與工程系列叢書

  • 作者：編者:李愛東//曹燕強//方國勇//Wei-Min Li|責編:楊新改
  • 出版社：科學
  • ISBN：9787030820488
  • 出版日期：2025/08/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：636
人民幣：RMB 160 元      售價：元
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內容大鋼
    本書是面向研究生和從事材料研發等相關行業的科研人員系統介紹原子層沉積技術原理及其應用的一本專業書籍，共分為十七章。包括原子層沉積的發展歷史、原理、設備、前驅體、沉積材料與生長機理以及理論計算與模擬等基礎內容，又著重論述等離子體增強原子層沉積和分子層沉積等特色技術，涉及了原子層沉積在微電子、納米技術、光學、能源、催化、含能材料、生物醫學、封裝、防腐、分離內膜等領域的應用，還特別介紹了正在快速發展中的原子層刻蝕技術。本書內容豐富新穎，在注重原子層沉積基本原理和生長機制闡述的同時，又突出了原子層沉積（刻蝕）材料的先進性和應用的前沿性，反映了原子層沉積（刻蝕）技術中的一些最新進展和成果，是先進技術原理與實際應用的有機結合。
    本書可作為高等院校材料科學與工程、化學化工、電子信息、集成電路科學與工程、智能製造、物理等專業研究生的參考書，也可供從事材料合成與製備及其微電子、納米技術、能源催化、光伏光學、生物醫學和封裝防腐等相關領域的科研人員和工程技術人員借鑒參考。
作者介紹
編者:李愛東//曹燕強//方國勇//Wei-Min Li|責編:楊新改
目錄
第二版前言
第1章  原子層沉積技術概述
  1.1  原子層沉積技術誕生與發展
  1.2  原子層沉積技術現狀與應用
  1.3  原子層沉積技術挑戰與展望
  參考文獻
第2章  原子層沉積原理
  2.1  原子層沉積基本原理
    2.1.1  原子層沉積系統的基本結構
    2.1.2  原子層沉積中的表面化學特性
    2.1.3  影響原子層沉積速率的因素
  2.2  原子層沉積的特點
    2.2.1  原子層沉積的特點、優勢與局限
    2.2.2  原子層沉積的一致性與重複性
  2.3  原子層沉積分類
    2.3.1  原子層沉積反應室
    2.3.2  空間原子層沉積
    2.3.3  電化學原子層沉積
  2.4  原子層沉積中的原位表徵與監控
  參考文獻
第3章  原子層沉積設備
  3.1  原子層沉積設備概述
  3.2  原子層沉積反應器的主要類型
    3.2.1  熱壁反應器
    3.2.2  冷壁反應器
  3.3  原子層沉積工業化設備的進展
    3.3.1  先進半導體晶元加工設備
    3.3.2  光伏高效電池加工設備
  3.4  總結與展望
  參考文獻
第4章  原子層沉積前驅體
  4.1  原子層沉積前驅體要求
  4.2  原子層沉積前驅體種類
  4.3  原子層沉積前驅體特點及其應用
    4.3.1  金屬類前驅體
    4.3.2  非金屬類前驅體
  4.4  原子層沉積前驅體設計與理論計算
    4.4.1  金屬與配體的配鍵強度
    4.4.2  前驅體熱穩定性
    4.4.3  前驅體水解活性
    4.4.4  前驅體設計篩選流程
    4.4.5  基於ALD反應機理的前驅體設計
  參考文獻
第5章  原子層沉積材料與生長機理
  5.1  引言
  5.2  原子層沉積氧化物
    5.2.1  H2O作為氧源
    5.2.2  活性氧作為氧源
    5.2.3  H2O2作為氧源
    5.2.4  醇鹽作為氧源

  5.3  原子層沉積氮化物
    5.3.1  熱ALD製備氨化物
    5.3.2  PEALD製備氨化物
  5.4  原子層沉積半導體
    5.4.1  元素半導體
    5.4.2  Ⅲ-Ⅴ族半導體
  ……
第6章  原子層沉積理論計算與模擬
第7章  等離子體增強原子層沉積技術及其應用
第8章  分子層沉積及其應用
第9章  原子層沉積在微電子領域的應用
第10章  原子層沉積在納米技術領域的應用
第11章  原子層沉積在光學領域的應用
第12章  原子層沉積技術在能源領域的應用
第13章  原子層沉積在催化領域的應用
第14章  原子層沉積在含能材料領域的應用
第15章  原子層沉積在生物醫學領域的應用
第16章  原子層沉積在其他領域的應用
第17章  原子層刻蝕技術

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