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薄膜物理與電子技術(普通高等教育電子科學與技術特色專業系列教材)

  • 作者：編者:梁繼然|責編:陳琪
  • 出版社：科學
  • ISBN：9787030808219
  • 出版日期：2024/12/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：163
人民幣：RMB 59 元      售價：元
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內容大鋼
    本書針對電子科學與技術、集成電路設計與集成系統的專業特點和需求，將現有的薄膜科學技術發展前沿成果與薄膜物理基礎相結合，圍繞集成電路、電子器件的要求，建立包含製備工藝、微納結構、電學性能在內的完整的知識體系，使學生了解工藝、結構、性能之間的影響關係，引導學生利用薄膜的基礎知識解決新的工程技術或科學問題，提升學生進行薄膜工藝設計、薄膜性能探索的能力。
    本書可作為普通高等院校電子科學與技術、集成電路設計與集成系統、微電子科學與工程、材料科學與工程等專業高年級本科生、研究生的教材，也可作為從事半導體薄膜材料製備研究和工藝開發的科技工作者和企業工程師的參考書。
作者介紹
編者:梁繼然|責編:陳琪
目錄
第1章  薄膜的概念及應用
  1.1  薄膜技術的發展歷史及薄膜的定義
  1.2  薄膜的特點
  1.3  薄膜的分類及用途
    1.3.1  電學薄膜
    1.3.2  光學薄膜
    1.3.3  力學薄膜
    1.3.4  有機分子薄膜
  1.4  學習薄膜技術的意義
  習題
第2章  真空技術基礎
  2.1  真空的定義與真空區域劃分
    2.1.1  真空的定義及單位
    2.1.2  真空區域的劃分
  2.2  稀薄氣體的基本性質
    2.2.1  氣體分子的速率分佈
    2.2.2  平均自由程
    2.2.3  碰撞次數與餘弦散射律
  2.3  真空的獲得
    2.3.1  機械泵
    2.3.2  擴散泵
    2.3.3  分子泵與羅茨泵
  2.4  真空的測量
    2.4.1  熱偶真空計
    2.4.2  電離真空計
  習題
第3章  真空蒸發鍍膜
  3.1  真空蒸發鍍膜的原理
    3.1.1  真空蒸發的特點與蒸發過程
    3.1.2  飽和蒸氣壓和蒸氣壓方程
    3.1.3  蒸發速率
  3.2  蒸發源的蒸發特性及膜厚分佈
    3.2.1  點蒸發源
    3.2.2  小平面蒸發源
    3.2.3  實際蒸發源的特性
  3.3  蒸發源的類型
    3.3.1  電阻蒸發源
    3.3.2  電子束蒸發源
    3.3.3  高頻感應蒸發源
  3.4  合金及化合物的蒸發
    3.4.1  合金的蒸發
    3.4.2  化合物的蒸發
  3.5  薄膜厚度的分類與測量
    3.5.1  薄膜厚度的分類
    3.5.2  薄膜厚度的測量
  習題
第4章  濺射鍍膜
  4.1  濺射鍍膜的定義與特點
  4.2  濺射的基本原理
    4.2.1  輝光放電

    4.2.2  濺射特性
    4.2.3  濺射鍍膜過程
    4.2.4  濺射機理
  4.3  濺射鍍膜類型
  習題
第5章  化學氣相沉積
  5.1  化學氣相沉積的概念與基本原理
    5.1.1  化學氣相沉積的概念
    5.1.2  CVD法的基本原理
    5.1.3  CVD法製備薄膜的主要階段
    5.1.4  CVD法的反應類型
  5.2  化學氣相沉積的特點
  5.3  化學氣相沉積法的分類
  習題
第6章  溶液鍍膜
  6.1  化學鍍
  6.2  溶膠-凝膠法
  6.3  陽極氧化法
  6.4  LB 膜的製備方法
  習題
第7章  薄膜的形成機理
  7.1  凝結的形成
    7.1.1  吸附過程
    7.1.2  表面擴散過程
    7.1.3  凝結過程
  7.2  核形成與生長
    7.2.1  核形成與生長的物理過程
    7.2.2  核形成理論
  7.3  薄膜形成過程與生長形式
  7.4  濺射薄膜的形成過程
    7.4.1  陰極濺射法製備薄膜與真空蒸發法製備薄膜的不同
    7.4.2  實驗現象觀察
    7.4.3  濺射薄膜的形成過程概述
  習題
第8章  薄膜結構、缺陷與表徵
  8.1  薄膜的結構
    8.1.1  薄膜的組織結構
    8.1.2  薄膜的晶體結構
    8.1.3  薄膜的表面結構
  8.2  薄膜的缺陷
  8.3  薄膜成分與結構分析技術
  習題
第9章  薄膜的電學性質
  9.1  塊狀金屬的導電性質
  9.2  連續金屬膜的導電性質
  9.3  不連續金屬膜的導電性質
  9.4  薄膜的電學性能測量
  習題
參考文獻

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