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超快激光微納加工--原理技術與應用/光電子科學與技術前沿叢書

作者：程亞|責編:郭建宇
出版社：科學
ISBN：9787030494535

出版日期：2016/09/01
裝幀：平裝
頁數：180

人民幣：RMB 120 元售價：元

內容大鋼

超快激光微納加工是指通過皮秒或飛秒激光脈衝與材料相互作用，對材料進行高品質結構加工或改性的一門尖端技術，具有加工精度高、熱效應小、獨特的三維微納加工能力以及被加工材料多樣性等顯著優勢，在基礎科學與現代工業中均獲得了廣泛應用。本書重點介紹超快激光微納加工的背景與原理，超快激光的特性與技術發展現狀，超快激光脈衝時空整形，超快激光對材料的表面處理，基於雙光子聚合的飛秒激光三維直寫，透明介電材料內部的三維光子學集成，飛秒激光直寫製備微流控晶元和集成光流器件，以及超快激光加工在現代工業中的應用。
本書可供相關領域的學者、研究生和相關產業的研發人員參考。

作者介紹

程亞|責編:郭建宇

叢書序
序言
前言
第1章  超快激光加工概述
  1.1  超快激光加工介紹
  1.2  超快激光加工的特點
    1.2.1  熱影響區的抑制
    1.2.2  降低等離子體屏蔽
    1.2.3  多光子吸收
    1.2.4  材料內部改性
    1.2.5  電介質中的載流子激發
    1.2.6  超快激光加工的空間解析度
  1.3  超快激光材料處理
    1.3.1  表面微加工
    1.3.2  表面微納結構製備
    1.3.3  納米燒蝕
    1.3.4  雙光子聚合
    1.3.5  透明材料的內部改性
    1.3.6  生物醫學應用
    1.3.7  工業和商業應用
  參考文獻
第2章  超快激光技術簡介
  2.1  超快激光技術
    2.1.1  摻鈦藍寶石激光器
    2.1.2  啁啾脈衝放大技術
    2.1.3  飛秒光纖激光器
    2.1.4  薄片激光器
  2.2  飛秒激光脈衝診斷技術
    2.2.1  飛秒脈衝的自相關測量
    2.2.2  頻率分辨光學開關法
    2.2.3  自參考光譜相位相干電場重建法
  2.3  飛秒激光材料加工技術
    2.3.1  飛秒激光直寫技術
    2.3.2  飛秒激光並行微納加工技術
  2.4  飛秒激光脈衝整形技術
    2.4.1  飛秒激光脈衝的時域整形技術
    2.4.2  飛秒激光脈衝的空間整形技術
    2.4.3  飛秒激光脈衝的時空整形技術
    2.4.4  飛秒激光脈衝的偏振整形
  參考文獻
第3章  超快激光脈衝時空整形
  3.1  飛秒脈衝時域整形
    3.1.1  飛秒脈衝整形簡介
    3.1.2  雙∕多脈衝加工
    3.1.3  脈衝時域自適應控制
  3.2  飛秒光束空間整形
    3.2.1  激光直寫截面控制
    3.2.2  多光束並行處理
    3.2.3  自適應光束空間整形
  3.3  飛秒激光時空聚焦

    3.3.1  時空聚焦原理簡介
    3.3.2  時空聚焦三維各向同性直寫
    3.3.3  時空聚焦三維光刻
    3.3.4  脈衝前沿傾斜和焦面強度傾斜
  3.4  光束整形加工應用舉例
    3.4.1  無衍射光束加工
    3.4.2  脈衝偏振整形加工
    3.4.3  飛秒激光超分辨加工
  參考文獻
第4章  超快激光對材料的表面處理
  4.1  飛秒激光加工薄膜材料
    4.1.1  飛秒激光對薄膜材料的燒蝕
    4.1.2  薄膜表面的微凸起結構
  4.2  材料表面的鑽孔與切割
    4.2.1  表面鑽孔
    4.2.2  表面切割
  4.3  飛秒激光誘導表面周期結構
    4.3.1  飛秒激光誘導表面周期結構的特點
    4.3.2  飛秒激光誘導表面周期性結構的形成機理
  4.4  硅表面微錐結構
  4.5  飛秒激光誘導表面微納米結構的應用
    4.5.1  材料表面光學特性調控
    4.5.2  表面浸潤特性調控
    4.5.3  生物化學應用
  參考文獻
第5章  基於雙光子聚合的飛秒激光三維直寫
  5.1  雙光子聚合的原理
  5.2  雙光子聚合的解析度
  5.3  材料的功能化
  5.4  光學元件的加工
  5.5  微納機械的加工
  5.6  微流體器件的加工
  5.7  醫學和生物組織工程中的應用
  5.8  三維金屬微納結構的加工
  參考文獻
第6章  透明介電材料內部的三維光子學集成
  6.1  利用飛秒激光實現透明介電材料內部改性的原理概述
  6.2  透明材料內部中三維光波導的製備
    6.2.1  製作波導的影響因素
    6.2.2  波導的製作方式
    6.2.3  不同材料
  6.3  光子器件的製備
    6.3.1  分束器
    6.3.2  定向耦合器
    6.3.3  馬赫-曾德爾干涉儀
    6.3.4  頻率轉換器
    6.3.5  有源光子器件
    6.3.6  集成量子光子迴路
    6.3.7  其他微光學器件
  6.4  高品質光學微腔

    6.4.1  在玻璃上製備高品質的光學微腔
    6.4.2  製備高品質的晶體微腔
  參考文獻
第7章  飛秒激光直寫製備微流控晶元和集成光流器件
  7.1  飛秒激光輔助濕法化學刻蝕製備微流結構
  7.2  水輔助飛秒激光直寫製備微流結構
  7.3  水輔助飛秒激光直寫製備納流結構
  7.4  飛秒激光直寫實現光流控集成
    7.4.1  自由空間微光學元件和微流控系統的集成
    7.4.2  光波導和微流控系統的集成
    7.4.3  集成晶元在生物醫學研究中的應用
  參考文獻
第8章  超快激光加工在現代工業中的應用
  8.1  表面處理
    8.1.1  抗摩擦損耗結構
    8.1.2  浮雕和成型模具
    8.1.3  光電子功能性修飾
  8.2  高精度鑽孔
  8.3  精密切割
    8.3.1  透明介質
    8.3.2  半導體和金屬
    8.3.3  危險化學物品
  8.4  透明材料三維加工應用
    8.4.1  激光三維標記與光存儲
    8.4.2  激光玻璃焊接
  8.5  醫療應用舉例
    8.5.1  醫用支架加工
    8.5.2  激光手術
  參考文獻
索引

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