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光學非球面新型檢測原理與技術(精)/變革性光科學與技術叢書

  • 作者:郝群//胡搖//朱秋東|責編:魯永芳|總主編:羅先剛
  • 出版社:清華大學
  • ISBN:9787302624578
  • 出版日期:2023/03/01
  • 裝幀:精裝
  • 頁數:120
人民幣:RMB 79 元      售價:
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內容大鋼
    本書結合光學測量技術的最新發展,針對光學非球面,尤其是大口徑非球面和自由曲面的檢測技術進行了詳細的探討,主要涉及技術起源與發展、原理、具體的實驗裝置,以及相關的測量方法和精度。全書共分5章,第1章介紹了光學非球面的基本概念、描述及評價方法,並簡要介紹了光學非球面檢測的經典方法;第2章介紹了基於激光束偏轉與逆向哈特曼的光學非球面幾何檢測方法;第3章詳細介紹了部分補償法和數字莫爾移相干涉法;第4章重點介紹了基於干涉檢測法的非球面參數誤差測量;第5章探討了非球面干涉檢測動態範圍擴展的相關技術。
    本書可作為高等院校光學工程等專業研究生和高年級本科生的教材,也可供航空航天、天文、信息技術、超精密加工等領域從事光學製造檢測工作的科研人員和工程技術人員參考。

作者介紹
郝群//胡搖//朱秋東|責編:魯永芳|總主編:羅先剛

目錄
第1章  光學非球面測量概述
  1.1  光學非球面的應用
  1.2  光學非球面的分類及數學描述
    1.2.1  非球面分類
    1.2.2  非球面方程
  1.3  光學非球面檢測及評價指標
    1.3.1  面形誤差和參數誤差
    1.3.2  幾何像差與澤尼克多項式
  1.4  光學非球面檢測方法
    1.4.1  接觸式測量法
    1.4.2  幾何檢測法
    1.4.3  干涉檢測法
  參考文獻
第2章  激光束偏轉法與逆向哈特曼波前檢測法
  2.1  激光束偏轉法
    2.1.1  測量光路方案
    2.1.2  光斑位置測量
    2.1.3  斜率計算
  2.2  逆向哈特曼波前檢測法
    2.2.1  逆向哈特曼波前檢測法測量原理
    2.2.2  測量解析度、測量靈敏度及斜率測量範圍
  參考文獻
第3章  部分補償數字莫爾移相干涉法
  3.1  概述
  3.2  部分補償法
    3.2.1  基本原理
    3.2.2  非球面部分補償鏡設計
    3.2.3  自由曲面部分補償鏡設計
  3.3  數字莫爾移相干涉法
    3.3.1  虛擬干涉儀的建立
    3.3.2  莫爾合成與濾波
  3.4  系統標定和校正
    3.4.1  干涉儀標定
    3.4.2  部分補償鏡標定
    3.4.3  被測非球面標定
  參考文獻
第4章  非球面參數誤差干涉測量
  4.1  相關概念
    4.1.1  非球面的法線像差
    4.1.2  斜率非球面度
  4.2  基於最佳補償位置的非球面參數誤差測量原理
    4.2.1  最佳補償位置的定義
    4.2.2  部分補償干涉系統的最佳補償位置理論模型
    4.2.3  非球面參數誤差與最佳補償位置的關係
    4.2.4  非球面參數誤差測量原理
  4.3  非球面參數誤差測量方法
    4.3.1  非球面參數誤差測量系統
    4.3.2  非球面參數誤差測量流程
  4.4  非球面參數誤差測量系統及實驗結果
    4.4.1  實驗系統搭建

    4.4.2  實驗結果與分析
  參考文獻
第5章  非球面干涉檢測動態範圍擴展研究
  5.1  高陡度非球面檢測的意義
  5.2  兩步載波拼接干涉測量
    5.2.1  數字莫爾移相法的局限
    5.2.2  兩步載波拼接干涉原理及關鍵技術
    5.2.3  模擬分析
    5.2.4  實測驗證
    5.2.5  TCSM演算法應用討論
  5.3  數字莫爾-牛頓迭代優化干涉測量
    5.3.1  數字莫爾-牛頓迭代解相原理
    5.3.2  模擬分析與比較
    5.3.3  實測驗證
  參考文獻
索引

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