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SiC材料表面處理--飛秒激光微納製備及其瞬態物理過程

  • 作者：和萬霖|責編:劉效松//許倩
  • 出版社：中國石化
  • ISBN：9787511457066
  • 出版日期：2020/04/01
  • 裝幀：平裝
  • 頁數：152
人民幣：RMB 59 元      售價：元
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內容大鋼
    針對當前飛秒激光微加工的熱點問題，本書主要介紹了飛秒激光在半導體材料表面快速、高效製備高精度、高質量表面周期微納米結構的方法，通過泵浦-探測技術和飛秒激光多維光場的精準操控，在SiC材料表面製備了高質量的微納米顆粒結構、光柵狀表面周期條紋結構和二維「微島」陣列結構，系統探究了光場操控對材料界面微納米結構的調控機制；分析並討論了表面等離激元與瞬態折射率光柵超表面在激光誘導表面周期結構形成過程中的重要作用，基於飛秒激光多光束泵浦-探測技術，獲得了超強飛秒激光脈衝輻照半導體材料表面瞬態物理過程隨時間的演化圖景。
    本書可供從事與光學學科相關，尤其是從事激光微納製備研究工作的師生及科研人員學習和參考。
作者介紹
和萬霖|責編:劉效松//許倩
目錄
第1章  緒論
  1.1  引言
  1.2  飛秒激光微加工
    1.2.1  飛秒激光發展史
    1.2.2  飛秒激光加工機理
    1.2.3  飛秒激光加工特點
    1.2.4  飛秒激光在微納加工中的應用
  1.3  飛秒激光誘導表面周期結構的研究進展
    1.3.1  飛秒激光燒蝕及改性
    1.3.2  飛秒激光誘導表面周期性條紋結構
    1.3.3  飛秒激光在材料表面誘導產生二維周期結構
    1.3.4  激光誘導表面周期結構的物理機制
  1.4  飛秒激光燒蝕材料瞬態物理過程的研究進展
第2章  飛秒激光SiC表面微納米顆粒結構製備
  2.1  飛秒激光微加工實驗系統
    2.1.1  飛秒激光系統
    2.1.2  三維精密加工平台
    2.1.3  飛秒激光直寫加工系統
  2.2  SiC材料及其屬性
    2.2.1  SiC材料的研究意義
    2.2.2  SiC的晶體結構及屬性
  2.3  圓偏振飛秒激光在4H-SiC表面製備微納米顆粒結構
    2.3.1  入射激光功率對錶面微結構的影響
    2.3.2  掃描速度對錶面微結構的影響
    2.3.3  實驗結果與分析
  2.4  飛秒激光在6H-SiC表面誘導納米顆粒結構
  2.5  本章小結
第3章  單束飛秒激光在sic表面誘導周期條紋結構
  3.1  飛秒激光直寫加工裝置
  3.2  飛秒激光對SiC表面的燒蝕及改性
    3.2.1  離焦距離對逐點掃描產生表面結構形貌的影響
    3.2.2  飛秒激光偏振方向對周期性條紋結構的影響
    3.2.3  掃描速度對樣品表面微結構的影響
    3.2.4  入射激光功率對錶面周期性條紋結構的影響
  3.3  單束飛秒激光誘導表面周期條紋結構理論分析
  3.4  本章小結
第4章  雙束飛秒激光誘導SiC表面周期條紋結構
  4.1  雙束飛秒激光微加工系統
  4.2  飛秒激光干涉在SiC表面誘導周期條紋結構
    4.2.1  雙束偏振異向飛秒激光干涉誘導表麵條紋結構
    4.2.2  偏振方向相互垂直的雙束飛秒激光作用結果
  4.3  延遲可調飛秒激光誘導表麵條紋結構
    4.3.1  雙束激光偏振方向夾角為10°的情況
    4.3.2  雙束激光偏振方向夾角為30。的情況
    4.3.3  雙束激光偏振方向夾角為45。的情況
    4.3.4  雙束激光偏振方向夾角為60。的情況
  4.4  雙束飛秒激光誘導表面周期性條紋結構理論分析
  4.5  飛秒激光誘導SiC表面超快動力學過程
    4.5.1  瞬態折射率光柵的演化過程
    4.5.2  瞬態介電常數的演化過程

  4.6  本章小結
第5章  三束飛秒激光製備一維表面周期結構
  5.1  三束飛秒激光微加工系統
  5.2  三束飛秒激光偏振夾角為礬θ1=θ2=30°
    5.2.1  前兩個光束時間延遲為10ps時的情況
    5.2.2  前兩個光束時間延遲為20ps時的情況
    5.2.3  前兩個光束時間延遲為60ps時的情況
  5.3  三束飛秒激光偏振夾角為θ1=θ2=45°
    5.3.1  前兩個光束時間延遲為10ps時的情況
    5.3.2  前兩個光束時間延遲為60ps時的情況
  5.4  三束飛秒激光偏振夾角為θ1=θ2=60°
    5.4.1  前兩個光束時間延遲為10ps時的情況
    5.4.2  前兩個光束時間延遲為60ps時的情況
  5.5  本章小結
第6章  三束飛秒激光製備二維表面周期結構
  6.1  偏振異向三束飛秒激光製備二維表面周期結構
  6.2  偏振垂直三束飛秒激光製備二維表面周期結構
    6.2.1  前兩個光束時間延遲為20ps時的情況
    6.2.2  前兩個光束時間延遲為40ps時的情況
  6.3  三束飛秒激光製備表面周期結構物理機制
    6.3.1  條紋傾斜角變化的物理機制
    6.3.2  HSF條紋結構產生的物理機制
    6.3.3  HSF條紋到LSF轉變的物理機制
    6.3.4  二維「微島」陣列結構產生的理論分析
  6.4  本章小結
第7章  SiC表面微區的能譜分析及顯微拉曼光譜測量
  7.1  飛秒激光輻照前後SiC表面的能譜分析
  7.2  飛秒激光輻照SiC表面的顯微拉曼光譜測量
  7.3  本章小結
附錄
    附錄Ⅰ  特殊名詞中英文對照
    附錄Ⅱ  物理量符號對照
參考文獻

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