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  • 聚焦离子束--应用与实践

  • 所属分类：工业技术>>动力工程原子能>>原子能     作者：邓昱//魏大庆//王英//陈振|责编:巩奚若     出版社：南京大学
  •     本书力求从简要、易懂 、可操作性强的角度出发， 概述FIB的工作原理，清晰 介绍FIB诱导沉积、溅射刻 蚀过程及重要控制参数；详 细说明FIB的离子注入和离 子束曝光过程以及主要影响 参数；从实际工作角度出发 ，示例说明FIB样品前后处 理的过程和注意要点；详细 介绍离子束在集成电路中的 应用，以及联合其他显微分 析设备开展微观材料、器件 剖析的步骤过程。本书提供 了大量鲜活案例，主要为编 者及其团队的真实实验结果 ，凝聚了编者们技术探索的 经验总结，具有较强的典型 性和参考性。
  • 人民幣：RMB 68.00 元     售价：NT$ 272.00 元
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