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基於脈衝激光沉積富硼B-C薄膜的關鍵技術研究/博士後文庫

  • 作者:章嵩
  • 出版社:科學
  • ISBN:9787030553331
  • 出版日期:2017/11/01
  • 裝幀:平裝
  • 頁數:90
人民幣:RMB 38 元      售價:
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內容大鋼
    章嵩著的《基於脈衝激光沉積富硼B-C薄膜的關鍵技術研究/博士後文庫》旨在利用脈衝激光沉積技術,將其分別採用碳化硼陶瓷靶與硼-碳拼合靶為靶材。通過對靶材成分、組成形式及沉積溫度等工藝參數的調整,得到表面平整、厚度均勻及成分可控的富硼B-C薄膜,建立靶材成分、組成形式和沉積溫度等工藝參數與薄膜組成、結構之間的關係,對該系列薄膜的生長機理進行分析研究。
    本書可作為薄膜材料研究專業科技人員的參考書,也可作為高等院校材料類及相關專業的本科生、研究生教學用書。

作者介紹
章嵩

目錄
《博士後文庫》序言
前言
第1章 導論
  1.1 激光慣性約束核聚變
    1.1.1 激光慣性約束核聚變技術
    1.1.2 激光慣性約束核聚變靶丸材料
  1.2 B-C系列材料
    1.2.1 B-C系列材料的晶體結構
    1.2.2 B-C系列材料的研究現狀
    1.2.3 B-C系列薄膜的研究現狀
第2章 富珊B-C陶瓷的製備、結構分析與成分控制
  2.1 引言
  2.2 實驗與測試
    2.2.1 實驗原料
    2.2.2 實驗設計與工藝過程
    2.2.3 測試方法
  2.3 B-C系列陶瓷靶材的燒結緻密化
    2.3.1 B-C陶瓷燒結體的緻密度分析
    2.3.2 B-C陶瓷的物相分析
    2.3.3 B-C陶瓷的顯微結構分析
  2.4 不同配比B-C陶瓷靶材的製備與成分控制
    2.4.1 不同配比B-C陶瓷的物相結構分析
    2.4.2 不同原子比B-C陶瓷的顯微結構分析
    2.4.3 B-C陶踵的化學組成分析與成分控制
    2.4.4 硼、碳原子的化學結構分析
第3章 採用B-C陶瓷靶的富硼B-C薄膜脈衝激光沉積
  3.1 引言
  3.2 實驗與測試
    3.2.1 實驗原料
    3.2.2 實驗設計與工藝過程
    3.2.3 測試方法
  3.3 富硼B-C薄膜的脈衝激光沉積工藝研究
    3.3.1 脈衝激光能量對薄膜沉積質量的影響
    3.3.2 靶-基距對薄膜沉積質量的影響
  3.4 B-C薄膜的成分研究
    3.4.1 B-C薄膜的化學組成分析與成分控制
    3.4.2 硼、碳原子的化學結構研究
第4章 採用B-C拼合靶的富硼B-C薄膜脈衝激光沉積
  4.1 引言
  4.2 實驗與測試
    4.2.1 實驗原料
    4.2.2 實驗設計與工藝過程
    4.2.3 測試方法
  4.3 B-C拼合靶的脈衝激光沉積工藝研究
    4.3.1 基板溫度對薄膜沉積質量的影響
    4.3.2 靶材自轉速度對薄膜沉積質量的影響
  4.4 B-C薄膜的成分分析與控制
    4.4.1 B-C薄膜的化學組成分析與成分控制
    4.4.2 硼、碳原子的化學結構分析
  4.5 B-C拼合靶的脈衝激光沉積過程分析

    4.5.1 脈衝激光沉積技術
    4.5.2 脈衝激光燒蝕靶材過程分析
    4.5.3 脈衝激光燒蝕產生等離子體的膨脹行為分析
    4.5.4 等離子體羽輝邊界的求解
    4.5.5 B-C薄膜中原子比的理論計算
本書總結
參考文獻

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